一种激光干涉法线/角振动同步测量装置及解耦方法

    公开(公告)号:CN119958681A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202411713469.X

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 一种激光干涉法线/角振动同步测量装置及解耦方法,属于激光干涉测量领域。线/角振动同步测量装置包括光学系统、精密调节支架、控制器、数据采集系统、线/角振动综合校准软件和一体式连接电缆。光学系统,用于发射三束测量光并聚焦在振子表面,同时接收从振子表面反回来的光能量,转换为光电信号。精密调节支架,用于精确调整光学系统的测量姿态。线/角振动上位机,用于对采集到的信号进行解耦和分别获取线振动和角振动参数,实现时频域曲线的实时跟踪显示,并自动拟合和快速显示运动目标的空间运行矢量轨迹。本发明采用三光束对称差分式马赫-泽德外差干涉方法,能够同步获取被测目标的线振动和角振动参数,并实现对被校传感器的综合校准。

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