一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法

    公开(公告)号:CN114062170A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202111285637.6

    申请日:2021-11-02

    Abstract: 本发明公开的一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法,属于精密测量技术领域。本发明包括数据采集与控制模块、电压调整模块、压电陶瓷驱动模块、静电力平衡式压头和电容读取模块。静电力平衡式压头用于实现微小力值加载,主要由压电陶瓷堆、固定梳齿、悬浮梳齿、传导杆、压针和弹性支撑梁组成。本发明保持梳齿电容的输出电容值不变,利用压电陶瓷带动梳齿电容固定端产生垂直于压入方向的位移的同时,通过调节梳齿电容电压改变静电力,使梳齿电容悬浮梳齿的弹性支撑一直处于初始状态,当压头再次达到受力平衡时,增加的静电力直接转换为加载力,从而消除因弹性支撑梁的变形引入的加载力的非线性,实现高精度可控加载。

    一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置

    公开(公告)号:CN108279509B

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201810076304.4

    申请日:2018-01-26

    Abstract: 本发明涉及一种快速调整法布里‑珀罗干涉仪的方法及装置,属于光学技术领域。在组成平凹腔法布里‑珀罗干涉仪的平面反射镜边缘加工一部分未镀反射膜区域,以解决因为法布里‑珀罗腔透射率低所造成的调整过程中反射光斑和干涉条纹不易观察的问题,通过引入一块过渡参考镜,使其分别与凹面反射镜和平面反射镜相对准,实现了平凹腔法布里‑珀罗干涉仪两块反射镜的对准调整。本发明装置由激光器、聚光镜、光阑、准直镜、分光镜、透镜、观察屏、平面反射镜、过渡参考镜和凹面反射镜组成,本发明方法能够提高平凹腔法布里‑珀罗干涉仪的调整精度和调整速度,在应用法布里‑珀罗干涉仪的精密测量系统装调中有实用价值。

    干涉差动位移法微小力控制系统

    公开(公告)号:CN109917828A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201910297225.0

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 本发明公开的干涉差动位移法微小力控制系统,属于精密测量技术领域。本发明主要由控制及信息输出模块、光学测量模块、微小力发生模块组成。控制及信息输出模块用于测量光学测量信号,微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯。光学测量模块用于将测量值及计算控制值与微小力值建立相互的对应关系,综合计算输出微小力的数据。微小力发生模块利用静电力方法,采用梳齿结构提高静电力获得微小力值的分辨能力和范围。本发明能够在微小力值的多种环境条件,通过干涉方法准确微小力值发生的位移变化进而确定微小力值的大小。本发明具有较高适应性和准确性,结构紧凑。和量值度量。

    一种共光路外差式激光干涉测量系统

    公开(公告)号:CN105783949A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610366359.X

    申请日:2016-05-28

    CPC classification number: G01D5/266 G01B11/02 G01H9/00

    Abstract: 本发明涉及一种适用于液体介质中位移与振动测量的外差式激光干涉测量系统,属于计量测试领域。本发明包括光源分系统、差频分系统、干涉分系统以及探测分系统。经典的激光干涉测量系统在测量水等液体介质中运动目标时,液体介质与空气之间的界面及相关窗口的运动给测量带来很大的误差,而本发明的一种共光路外差式激光干涉测量系统恰恰填补了以上传统激光干涉测量系统在上述测量过程中对于测量误差惊醒修正的空白,从而较好解决了对水下振动测试、液体动态压力计量、水声计量、水下目标探测实验室以及工业现场试验测试过程中存在的液体介质中目标运动或介质折射率静动态的测量误差的修正问题。

    一种大焦距静态光电显微镜

    公开(公告)号:CN104614850A

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201510100855.6

    申请日:2015-03-08

    CPC classification number: G02B23/10 G02B21/361 G02B21/364

    Abstract: 本发明涉及一种大焦距静态光电显微镜,具体涉及一种微米级可用于瞄准测量的光学系统,属于光学领域。其包括:照明光源(1)、目标分划板(2)、投影物镜组(3)、成像物镜组(4)、棱镜(5)、第一平面镜(6)、第二平面镜(7)、转向物镜组(8)、中心通光平面镜(9)、图像传感器(10)和光电转换装置(11)。本发明提出的大焦距静态光电显微镜与已有技术相比较具有长工作距离、抗干扰能力强、可实现非接触瞄准和生产成本低的优点;同时,由于该装置的投影物镜组(3)和成像物镜组(4)光学参数完全相同且采用对称式结构,因此容易实现。

    一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统

    公开(公告)号:CN103105134A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201310005758.X

    申请日:2013-01-08

    Abstract: 本发明涉及一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。其特征是将猫眼反射原理用于干涉法微位移测量,提出猫眼反射镜引入的位移测量误差修正数学模型,并采用平衡式双光程光学系统结构以提高系统的抗干扰能力。本发明的误差修正方法可以将猫眼反射镜引入的测量误差减小到纳米量级。本系统硬件由稳频激光光源、偏振分光镜、透镜-反射镜式猫眼反射镜、角锥棱镜、波片、偏振片、必要的反射镜和直角棱镜、以及光电接收器等组成。本系统具有测量分辨力高、抗干扰能力强、可实现非接触测量等特点,可用于解决无法使用角锥棱镜的情况下的微位移干涉测量问题,在微位移、微振动、热膨胀系数等测量方面有重要的推广应用价值。

    一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

    公开(公告)号:CN102155922A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110053548.9

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器,属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成,其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光,包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉,以全息激光元件为核心,提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构,将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来,可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平,同时本传感器具有视频监视功能,可以满足多种场合的现场需要。

    一种高稳定性四光程激光干涉测量系统

    公开(公告)号:CN110174054B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201910479875.7

    申请日:2019-06-04

    Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次,使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8,同时,所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构,即测量光束与参考光束的传播路径相似,光程差主要由被测试样的长度引起,因此,测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。

Patent Agency Ranking