一种基体表面的固体润滑复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN106467959B

    公开(公告)日:2019-09-13

    申请号:CN201510519542.4

    申请日:2015-08-21

    Abstract: 本发明提供一种基体表面的固体润滑复合涂层。该复合涂层是由硬质相纳米晶CrC与润滑相a‑C组成,形成CrC/a‑C复合涂层,不仅保持了CrC硬质涂层高硬度、低磨损的特点,同时具有a‑C材料优异的自润滑特性。本发明采用多弧离子镀技术,以金属Cr为靶材,以高纯Ar为工作气体,C2H2为反应气体,在基体表面沉积该CrC/a‑C复合涂层,能够通过控制Cr靶电流与反应气体C2H2流量而调控复合涂层中CrC相与a‑C相的含量。该复合涂层的硬度高达31GPa,磨损率达10‑16m3/N·m量级,在大气环境中的摩擦系数低至0.2以下,对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用,具有很好的应用价值。

    一种基体表面的固体润滑复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN106467959A

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201510519542.4

    申请日:2015-08-21

    Abstract: 本发明提供一种基体表面的固体润滑复合涂层。该复合涂层是由硬质相纳米晶CrC与润滑相a-C组成,形成CrC/a-C复合涂层,不仅保持了CrC硬质涂层高硬度、低磨损的特点,同时具有a-C材料优异的自润滑特性。本发明采用多弧离子镀技术,以金属Cr为靶材,以高纯Ar为工作气体,C2H2为反应气体,在基体表面沉积该CrC/a-C复合涂层,能够通过控制Cr靶电流与反应气体C2H2流量而调控复合涂层中CrC相与a-C相的含量。该复合涂层的硬度高达31GPa,磨损率达10-16m3/N·m量级,在大气环境中的摩擦系数低至0.2以下,对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用,具有很好的应用价值。

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