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公开(公告)号：CN108456883A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201710089968.X
申请日：2017-02-20
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法。该方法采用磁控溅射和离子束相结合的技术，首先采用磁控溅射技术在清洗后的基体表面依次沉积Cr过渡层和WC支撑层，然后采用阳极离子束沉积类金刚石非晶碳基薄膜层，最后进行退火处理，制得的多层结构薄膜在力学性能和减磨耐磨等方面均获得提升，其硬度为20GPa～25GPa，划痕结合强度大于35N，液压油环境中的摩擦系数小于0.1，液压油环境中的磨损率小于10-7mm3N-1m-1数量级，因此可显著提高轴承与传动件等液压油环境下的液压元件的稳定性和使用寿命，在当代机械工业中具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN108456883B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201710089968.X
申请日：2017-02-20
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法。该方法采用磁控溅射和离子束相结合的技术，首先采用磁控溅射技术在清洗后的基体表面依次沉积Cr过渡层和WC支撑层，然后采用阳极离子束沉积类金刚石非晶碳基薄膜层，最后进行退火处理，制得的多层结构薄膜在力学性能和减磨耐磨等方面均获得提升，其硬度为20GPa～25GPa，划痕结合强度大于35N，液压油环境中的摩擦系数小于0.1，液压油环境中的磨损率小于10‑7mm3N‑1m‑1数量级，因此可显著提高轴承与传动件等液压油环境下的液压元件的稳定性和使用寿命，在当代机械工业中具有良好的应用前景。
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