公开(公告)号：CN104037068A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410324605.6

申请日：2014-07-09

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 黄北举 ,  程传同 ,  张赞 ,  张赞允 ,  毛旭瑞 ,  陈弘达

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02057 ,  H01L21/02068

Abstract: 本发明公开了一种全新的芯片表面污物清洁处理的方法，包括步骤：将待清理芯片在烘箱中烘烤第一预定时间；将待清理芯片在室温下冷却后置于热板上；在冷却后的待清理芯片上放置一限位框，所述限位框具有一中空部分，用于在所述待清理芯片表面限定待清理部位；在限位框中滴入液态胶，使其充满限位框的中空部分；打开热板电源，使温度升高至第一预定温度并保持第二预定时间；将带限位框的芯片由热板放到去离子水中；剥离限位框和芯片；将芯片先后在丙酮、乙醇中浸泡，然后在去离子水反复冲洗后用氮气吹干。本发明能够实现某些功能芯片重复利用以及对芯片特定区域进行清洁处理提供有效解决办法。