公开(公告)号：CN110004488A

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201910329382.5

申请日：2019-04-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国科学院大学

Inventor： 李昂 ,  崔奋为 ,  朱海龙 ,  黄本锐 ,  马妮

IPC: C30B25/18 ,  C30B29/02 ,  C23C14/30 ,  C23C14/14 ,  H01L21/34 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种石墨烯/Mn5Ge3/锗(110)异质结及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：S1：提供一种单层石墨烯样品，单层石墨烯在锗(110)衬底上的覆盖率为30％～70％；S2：将单层石墨烯样品放入样品制备真空腔内进行加热，真空度为5×10-10～1.5×10-9毫巴，加热温度为1050～1150K；S3：将单层石墨烯样品的加热温度改变为600～650K，使用蒸发源向单层石墨烯样品上蒸发沉积金属锰；以及S4：关闭蒸发源，保持加热温度不变继续加热，即得。该制备方法具有工艺过程简单，可控性好等优点，该石墨烯/Mn5Ge3/锗(110)异质结因石墨烯电子态呈半导体特性，因此可制备成半导体器件。

公开(公告)号：CN209590070U

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201822252480.7

申请日：2018-12-29

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 梅红萍 ,  李昂

IPC: G01Q60/16

Abstract: 本实用新型提供一种扫描隧道显微镜针尖传递托，针尖传递托包括：第一单元，第一单元包括第一表面及第二表面；第一单元的传递方式包括水平传递；底座，底座位于第一表面上，并与第一单元相连接，底座包括第一通孔及第二通孔，第一通孔的直径大于第二通孔的直径，且第一通孔与第二通孔的中心线重合，从而在第一通孔及第二通孔之间形成限位台阶面；弹性部件；弹性部件包括顶部、底部及弹性固定部；其中，顶部与限位台阶面相接触，底部与第一表面相接触，弹性固定部的水平截面距离小于第二通孔的直径；扫描隧道显微镜针尖托通过所述弹性固定部固定。可实现针尖在超高真空联合系统中的传递、原位处理及更换等操作，避免大气下杂质污染。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209307512U

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201822252410.1

申请日：2018-12-29

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 梅红萍 ,  李昂

IPC: C30B25/12 ,  H01J37/20 ,  G01N23/22

Abstract: 本实用新型提供一种样品托，样品托包括：第一单元，第一单元包括第一表面及与第一表面相对的第二表面，第一单元包括贯穿第一表面及第二表面的第一通孔；第一单元的传递方式包括水平传递；固定单元，固定单元位于第一单元的第一表面上，并与第一单元相连接，固定单元包括第二通孔，第二通孔与第一通孔相贯通；第二单元，第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，样品部用以承载样品，固定部与所述固定单元相连接；第二单元的传递方式包括垂直传递。本实用新型通过样品托可实现样品在大型互联真空系统中的传递操作，包括水平传递及垂直传递，保证样品在超高真空互联系统中的原位生长和原位多重表征测试，避免大气下杂质污染等问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利