公开(公告)号：CN106289214B

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201610918609.6

申请日：2016-10-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  连树仁 ,  冯恒振 ,  唐军

IPC: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及MEMS振动陀螺，具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、S形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN107063307B

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201710265744.X

申请日：2017-04-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  刘文耀 ,  寇志伟 ,  连树仁

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明涉及微机械陀螺仪的标定方法，具体是一种基于虚拟哥氏力的微机械陀螺仪自标定方法。本发明解决了现有微机械陀螺仪标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限的问题。基于虚拟哥氏力的微机械陀螺仪自标定方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）获取哥氏信号幅值；2）施加高精度虚拟哥氏力信号；3）更新由输入角速率产生的哥氏力信号和由虚拟哥氏力产生的信号；4）标定微机械陀螺仪的参数。本发明适用于微机械陀螺仪的标定。

公开(公告)号：CN106199071B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201610476837.2

申请日：2016-06-27

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  冯恒振 ,  秦丽 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  曹慧亮 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及MEMS电容式加速度传感器，具体是一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS电容式加速度传感器在高过载条件下无法实现稳定输出、无法实现高精度与抗高过载的动态平衡的问题。一种抗高过载低量程电容式加速度传感器，包括四悬臂梁结构和玻璃电极结构；所述四悬臂梁结构包括硅边框、硅质量块、四个硅悬臂梁、八个二氧化硅防护台；所述玻璃电极结构包括两个玻璃基板、两个金属电极。本发明适用于卫星导航、导弹制导、炮弹定向、汽车防震保护、自动刹车、医疗服务等领域。