公开(公告)号：CN106597011B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN105241455B

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201510723294.5

申请日：2015-10-29

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  申冲 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  冯恒振

IPC: G01C21/16 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及微型定位‑导航‑授时系统（μPNT）的微装配技术，具体是一种基于TSV技术的μPNT微尺度立体堆叠方法。本发明解决了现有采用SOG技术的微型定位‑导航‑授时系统微装配方法加工难度过大、成品率过低、体积过大、适用范围受限、装配精度过低的问题。基于TSV技术的μPNT微尺度立体堆叠方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.选取一个玻璃层，并在玻璃层的上表面溅射金属引线层；b.选取一个硅层，并将硅层的下表面与玻璃层的上表面键合在一起；c.重复进行步骤a‑b，由此得到若干个SOG；d.在各个SOG的硅层上刻蚀形成上下贯通的TSV。本发明适用于微型定位‑导航‑授时系统的微装配。

公开(公告)号：CN104569498B

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201510060548.X

申请日：2015-02-05

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  李策 ,  陈艳香 ,  智丹 ,  周智君 ,  董胜飞 ,  杨志才 ,  冯恒振

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。本发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.将高量程加速度传感器安装在炮弹上，并采用炮弹进行实弹侵彻试验；b.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的速度变化量；c.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量；d.将炮弹在实弹侵彻试验过程中损失的动能与高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量进行比较。本发明适用于高量程加速度传感器的可靠性分析。

公开(公告)号：CN106597011A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/02 ,  G01P2015/0862

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106289215A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610918610.9

申请日：2016-10-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  曹慧亮 ,  寇志伟 ,  石云波 ,  连树仁 ,  冯恒振 ,  唐军

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及MEMS环形振动陀螺，具体是一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第一U形弹性支撑悬梁、第二U形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。