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公开(公告)号：CN113594110A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110862262.9
申请日：2021-07-29
Applicant: 东南大学苏州研究院
IPC: H01L23/373 , H01L29/778 , H01L21/335
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件，包括多晶金刚石层，多晶金刚石层上覆盖单晶金刚石薄膜，单晶金刚石薄膜上依次堆叠介质层、缓冲层、势垒层和沟道层。本发明还公开了一种半导体器件的制备方法，包括以下步骤：在原始衬底上形成有牺牲层；在牺牲层上形成多晶金刚石层；在籽晶层上形成单晶金刚石薄膜；将籽晶层和单晶金刚石薄膜倒置并键合到多晶金刚石层上；将籽晶层从单晶金刚石薄膜上分离；去除原始衬底和牺牲层；在临时衬底上形成缓冲层；在单晶金刚石薄膜上形成介质层，将单晶金刚石薄膜与缓冲层键合；去除临时衬底；在缓冲层上形成势垒层和沟道层。本发明改善散热性能和稳定性能，提高电学性能，改善器件良率，简化制备工艺，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN111969414B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202010868364.7
申请日：2020-08-26
Applicant: 东南大学苏州研究院
IPC: H01S5/183 , H01S5/02253 , H01S5/02345 , H01S5/042 , H01S5/42
Abstract: 本发明公开了一种VCSEL单元单独可控的激光器，包括驱动电路模块、VCSEL模块和微透镜模块，驱动电路模块和VCSEL模块电性连接，微透镜模块设于VCSEL模块上以实现光学聚焦；VCSEL模块包括VCSEL单元形成的VCSEL阵列和共阴极单元，共阴极单元设于VCSEL阵列的四周；VCSEL单元包括独立阳极和独立阴极，独立阴极均电性连接至共阴极单元，共阴极单元电性连接至驱动电路模块的地端，独立阳极电性连接至驱动电路模块的正极端。本发明能够单独控制各VCSEL单元，驱动电路模块、VCSEL模块和微透镜模块实现一体化集成式的空间堆叠，避免了部分VCSEL单元贴片高度不一致的问题。
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公开(公告)号：CN111969414A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010868364.7
申请日：2020-08-26
Applicant: 东南大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开了一种VCSEL单元单独可控的激光器，包括驱动电路模块、VCSEL模块和微透镜模块，驱动电路模块和VCSEL模块电性连接，微透镜模块设于VCSEL模块上以实现光学聚焦；VCSEL模块包括VCSEL单元形成的VCSEL阵列和共阴极单元，共阴极单元设于VCSEL阵列的四周；VCSEL单元包括独立阳极和独立阴极，独立阴极均电性连接至共阴极单元，共阴极单元电性连接至驱动电路模块的地端，独立阳极电性连接至驱动电路模块的正极端。本发明能够单独控制各VCSEL单元，驱动电路模块、VCSEL模块和微透镜模块实现一体化集成式的空间堆叠，避免了部分VCSEL单元贴片高度不一致的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113594110B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202110862262.9
申请日：2021-07-29
Applicant: 东南大学苏州研究院
IPC: H01L23/373 , H01L29/778 , H01L21/335
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件，包括多晶金刚石层，多晶金刚石层上覆盖单晶金刚石薄膜，单晶金刚石薄膜上依次堆叠介质层、缓冲层、势垒层和沟道层。本发明还公开了一种半导体器件的制备方法，包括以下步骤：在原始衬底上形成有牺牲层；在牺牲层上形成多晶金刚石层；在籽晶层上形成单晶金刚石薄膜；将籽晶层和单晶金刚石薄膜倒置并键合到多晶金刚石层上；将籽晶层从单晶金刚石薄膜上分离；去除原始衬底和牺牲层；在临时衬底上形成缓冲层；在单晶金刚石薄膜上形成介质层，将单晶金刚石薄膜与缓冲层键合；去除临时衬底；在缓冲层上形成势垒层和沟道层。本发明改善散热性能和稳定性能，提高电学性能，改善器件良率，简化制备工艺，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN117552111A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311533965.2
申请日：2023-11-16
Applicant: 东南大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开了一种GaN单晶衬底的制备方法，包括以下步骤：在基板上依次生长阻挡层、第一键合层，在衬底上依次生长GaN外延薄膜、第二键合层；将第一键合层与第二键合层键合，形成键合层，去除衬底，得到自下而上的基板、阻挡层、键合层、GaN外延薄膜；通过湿法腐蚀使得GaN外延薄膜远离键合层的一侧表面形成具有(10‑11)晶面的GaN岛；在GaN岛上，采用HVPE法在800～1000℃生长GaN，形成GaN厚膜；通过HF或BOE法腐蚀去掉键合层，将基板与GaN厚膜分离；对GaN厚膜做表面研磨、抛光处理。本发明基板与GaN厚膜的热膨胀系数一致，不存在失配，长厚时不容易碎裂，能够制备大尺寸GaN单晶。
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公开(公告)号：CN115966635A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211554722.2
申请日：2022-12-06
Applicant: 东南大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开了一种深紫外发光器件的制备方法，包括以下步骤：在蓝宝石衬底上采用MOCVD法依次外延生长形核层、模板层，模板层为C轴取向，厚度为100～1000nm；将所得物每两组的外延面贴合叠放，在保护气氛、400～600torr压力下进行1600～1800℃超高温退火；将所得物在氢气气氛、1000～1200℃下进行处理表面，采用MOCVD法进行模板层重生长，以及依次外延生长N型接触层、有源发光层、P型层、P型接触层。本发明采用超高温退火处理，外延材料重结晶，材料层中的位错密度大幅减少，在退火后的模板层上外延生长的材料层的位错密度也相应的大幅减少，能够提高LED的发光效率，显著降低器件的漏电流。
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公开(公告)号：CN112925121B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110107317.5
申请日：2021-01-26
Applicant: 东南大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开了一种超表面透镜，依次包括介质层、导电层和电光调制材料层，电光调制材料层上设置若干互不联通的凹槽，凹槽内填充有金属电极；超表面透镜还包括电源，电源包括若干脉冲电压源，脉冲电压源的正极端与金属电极电性相连，负极端与导电层电性相连并接地，两两相邻的金属电极上加载的脉冲电压源的电压值互不相同。本发明还公开了一种空间光调制器，包括激光器和上述超表面透镜，超表面透镜设于激光器上。本发明能够通过电调构成超表面透镜的调制材料折射率，实现通过超表面透镜的光束的空间指向、光学焦距以及数值孔径的动态调节。
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公开(公告)号：CN112670358B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202011535536.5
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学苏州研究院
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种金刚石基紫外探测器，包括金刚石薄膜、第一电极、第二电极和绝缘层；金刚石薄膜包括金刚石微柱、第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽，金刚石微柱在金刚石薄膜的表面周期性排布，金刚石微柱之间的空隙为第三沟槽，第三沟槽的两侧分别设与其联通的第一沟槽、第二沟槽；第一电极在第一沟槽、第三沟槽上；第二电极在第二沟槽、第三沟槽上方；绝缘层在第一电极、第二电极堆叠的区域之间。本发明还公开了一种金刚石基紫外探测器的制备方法。本发明利用沟槽设置堆叠的第一电极和第二电极，提高金刚石薄膜表面占空比，增加载流子数量并实现其有效收集，提高了灵敏度和响应度。
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