图案形成方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115248529A

    公开(公告)日:2022-10-28

    申请号:CN202210465188.1

    申请日:2022-04-25

    Abstract: 本发明涉及图案形成方法。图案形成方法,其包括:将具有凹凸图案的模具按压于由纳米压印用组合物形成的固化性膜,从而在前述固化性膜上转印前述凹凸图案的工序(i);在将前述模具按压于前述固化性膜的同时,使转印有前述凹凸图案的固化性膜固化,从而形成固化膜的工序(ii);将前述模具从前述固化膜剥离的工序(iii);和将剥离了前述模具的固化膜于160℃以上进行加热,从而形成后烘烤固化膜的工序(iv)。

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