公开(公告)号：CN104024159A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280051270.4

申请日：2012-07-26

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 守田雅俊 ,  蟹江达矢 ,  田口裕务 ,  高岛兼正

IPC: C01B33/107 ,  B01J8/24 ,  B01J8/40

CPC classification number: C01B33/107 ,  B01J8/006 ,  B01J8/16 ,  B01J2208/00212 ,  B01J2208/00274

Abstract: 本发明提供一种氯代聚硅烷的制造方法，其在通过流动反应得到氯代聚硅烷时，可在提高成品率的同时，抑制可能副产的高次氯化硅的附着造成的堵塞。在使氯气与流动的硅粒子或硅合金粒子反应而得到氯代聚硅烷时，在反应槽(12)内部，在比硅粒子或硅合金粒子流动的范围更靠上侧，在使馏出成分馏出的馏出口(20)的正前设置抑制因流动而飞扬的微粒子从馏出口(20)流出的出口过滤器(22)，同时将出口过滤器(22)的温度设定在210～350℃的范围内。

公开(公告)号：CN101669072A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200880013980.1

申请日：2008-06-27

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 田口裕务 ,  住田正直

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 本发明提供：在使用温度下为液体、较难使铜等金属腐蚀、并且容易过滤而易于再次利用的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物的特征在于，含有具有3～6元环的环状酯(碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等)、具有低级烷基的酮类(丙酮、甲基乙基酮等)、及特定的亚烷基二醇单烷基醚类(乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚等)中的一种、与特定的环状酰胺类(N-甲基-2-吡咯烷酮等)或特定的直链状酰胺类(N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二乙基乙酰胺等)的混合物。