公开(公告)号：CN101689480A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200880020488.7

申请日：2008-06-27

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 住田正直 ,  林秀生

IPC: H01L21/027 ,  B01D61/14 ,  B01D71/02 ,  G03F7/42 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/422 ,  B01D61/027

Abstract: 本发明要解决的课题是提供：不进行剥离液交换、即使进行长时间剥离，用于抗蚀剂剥离的剥离液中的抗蚀剂成分的浓度处于一定浓度范围内的系统。采用剥离液进行正型抗蚀剂剥离时，剥离液中溶解的抗蚀剂成分，采用特定的陶瓷过滤器(5)进行错流过滤使其减少。而且，剥离工序生成的含抗蚀剂成分的剥离液，在过滤工序进行处理，副产的抗蚀剂成分浓度被浓缩的浓缩剥离液适当排至体系外，向被除去抗蚀剂成分的处理剥离液中适当添加新剥离液后的剥离液，再度于剥离工序中使用，从而完成抗蚀剂剥离系统。

公开(公告)号：CN101669072A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200880013980.1

申请日：2008-06-27

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 田口裕务 ,  住田正直

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 本发明提供：在使用温度下为液体、较难使铜等金属腐蚀、并且容易过滤而易于再次利用的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物的特征在于，含有具有3～6元环的环状酯(碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等)、具有低级烷基的酮类(丙酮、甲基乙基酮等)、及特定的亚烷基二醇单烷基醚类(乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚等)中的一种、与特定的环状酰胺类(N-甲基-2-吡咯烷酮等)或特定的直链状酰胺类(N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二乙基乙酰胺等)的混合物。

公开(公告)号：CN101336469A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200680052170.8

申请日：2006-11-28

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 住田正直 ,  尾崎实明 ,  中村浩

IPC: H01L21/306 ,  F24H1/18 ,  H01L21/304

CPC classification number: H05B3/10

Abstract: 本发明提供一种热传导片，能以简单的构成容易制造，且能将加热部的热有效果地传导至容器，即使将大重量的药品容器频繁地交换时几乎不使热传导效率降低，此外，能在洁净室内使用。热传导片(3)，是夹在加热部(21)与被其加热的容器的间隙，具备多个热传导基材(30)，将金属薄膜件向规定方向规则地重复弯曲变形后，将该金属薄膜件以不规则地微小弯折的方式压固来成为规定厚度，由此形成使金属薄膜件彼此连续或接触的传热路径，以及散在于该传热路径间的微小间隙部；将该等热传导基材(30)配置成，与该容器的接触面形状对应的形状，将该等热传导基材(30)的至少与该容器接触侧，以具有热传导性的片材(40)被覆。