一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法

    公开(公告)号:CN103105419A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201110352115.3

    申请日:2011-11-09

    Abstract: 本发明设计一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于包括如下步骤:配置高分子聚合物溶液,用静电纺丝方法制备聚合物纤维;将纤维干燥箱中老化后,再用原子层沉积方法在纤维上制备氧化铝和氧化锡薄膜;最后将复合纤维高温下烧结得到氧化铝-氧化锡复合结构纳米管;其中所述高分子聚合物为聚丙烯腈、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或其组合,所述高分子聚合物溶液的质量浓度为5~10%。先进的原子层沉积技术能使制备的纳米管壁厚均匀且大小任意精确调节;良好的重复性能保证复合纳米管质量的稳定性。这种纳米管可以用作气敏元件,用来提高气体传感器的灵敏度和响应速度。

    可调色混合白光有机发光器件的制备方法

    公开(公告)号:CN102097600A

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN201010598648.5

    申请日:2010-12-21

    Abstract: 可调色混合白光有机发光器件的制备方法,以玻璃衬底上的铟锡氧化物半导体透明膜薄膜为阳极;对于黄色磷光发光层,将掺杂物载体及各色磷光掺杂物分别溶解于有机溶剂中;将空位传输物与电子传输物与p型和n型掺杂物分别溶解于有机溶剂中;采用旋镀的方法沉积空位激发层,空位传输层,黄光发光层和电子传输层;旋镀沉积的各种有机层采用加热的方法进行交联;采用真空热蒸发的方法制备透明阴极;采用真空热蒸发的方法沉积电子传输层,蓝色荧光发光层和空位传输层;采用磁控溅射的方法沉积反射阳极;采用滑线变阻器来调节与蓝色荧光发射层串联的电阻。该方法制备工艺简单,利于大规模生产从而降低成本。

    实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法

    公开(公告)号:CN101726517A

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200910200742.8

    申请日:2009-12-25

    Abstract: 一种传感器技术领域的实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法,包括以下步骤:在平面基底上镀覆一对金属电极;利用介电泳沉积法或滴加法在金属电极表面沉积纳米线材料;将传感器放入气体测试系统中进行标定,获得气体传感器对应待测气体的电阻变化曲线、传感器灵敏度和响应时间;取出气体传感器并对纳米线材料和金属电极接触处实施超声纳米焊接,实现对气体传感器的优化。本发明利用超声压焊技术将纳米线与金属电极键合,使得纳米线与金属形成良好的电学接触,从而提高了传感器的灵敏度、缩短了器件的响应时间;同时可以把现有的集成电路封装工艺应用到纳米器件领域,降低了成本,节约能源。

    一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法

    公开(公告)号:CN103105419B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201110352115.3

    申请日:2011-11-09

    Abstract: 本发明设计一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于包括如下步骤:配置高分子聚合物溶液,用静电纺丝方法制备聚合物纤维;将纤维干燥箱中老化后,再用原子层沉积方法在纤维上制备氧化铝和氧化锡薄膜;最后将复合纤维高温下烧结得到氧化铝-氧化锡复合结构纳米管;其中所述高分子聚合物为聚丙烯腈、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或其组合,所述高分子聚合物溶液的质量浓度为5~10%。先进的原子层沉积技术能使制备的纳米管壁厚均匀且大小任意精确调节;良好的重复性能保证复合纳米管质量的稳定性。这种纳米管可以用作气敏元件,用来提高气体传感器的灵敏度和响应速度。

    实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法

    公开(公告)号:CN101726517B

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN200910200742.8

    申请日:2009-12-25

    Abstract: 一种传感器技术领域的实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法,包括以下步骤:在平面基底上镀覆一对金属电极;利用介电泳沉积法或滴加法在金属电极表面沉积纳米线材料;将传感器放入气体测试系统中进行标定,获得气体传感器对应待测气体的电阻变化曲线、传感器灵敏度和响应时间;取出气体传感器并对纳米线材料和金属电极接触处实施超声纳米焊接,实现对气体传感器的优化。本发明利用超声压焊技术将纳米线与金属电极键合,使得纳米线与金属形成良好的电学接触,从而提高了传感器的灵敏度、缩短了器件的响应时间;同时可以把现有的集成电路封装工艺应用到纳米器件领域,降低了成本,节约能源。

    一种金属掺杂氧化锌基薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN102071402A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201010584342.4

    申请日:2010-12-11

    Abstract: 本发明涉及半导体材料制备领域,具体地是一种金属掺杂氧化锌基薄膜的制备方法,其特征在于步骤如下:基片清洗后,放入磁控溅射装置室中,其反应室内抽至超高真空,采用高纯度金属作和高纯度氧化锌为原料靶材,实现两种靶材的共溅射镀膜;以氩气和高纯氧气按一定比例混合的气体作为溅射气体和反应气体,经流量计控制流量输入反应室中,进行溅射生长;制备完毕的薄膜在真空环境下退火处理。该方法简化了氧化锌均匀掺杂的工艺过程,缩短了研发成本,并且该工艺过程稳定可靠,有益于实现大规模工业化的生产。

    铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法

    公开(公告)号:CN102021535A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN201010600144.2

    申请日:2010-12-21

    Abstract: 铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法,用真空泵将反应腔抽到低真空并加热,再用高纯氮清洗反应腔;将衬底在高纯去离子水中超声清洗;将二乙基锌通入反应腔脉冲时间0.1秒,清洗二乙基锌的脉冲时间为3秒;然后通入0.2秒的水蒸汽脉冲,再用4秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽,完成一个沉积氧化锌的循环;将三甲基铝通入0.2秒脉冲时间,清洗脉冲时间为4秒;然后通入水蒸汽脉冲0.2秒,清洗脉冲时间4秒,完成一个沉积氧化铝的循环;多个沉积氧化锌的循环和1个沉积氧化铝的循环组成一个大循环,完成多个大循环后即制得铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。该方法扩宽了铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的应用范围。

    钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN102051598A

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN201010600151.2

    申请日:2010-12-21

    Abstract: 钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法,将经过清洗干燥的工件放入原子层沉积设备的成膜室中,在100~200℃的条件下,沉积一层厚度为80~200nm的钛薄膜,并降至室温;取出工件放入浓度为0.05mol/L氢氟酸和0.01mol/L的硝酸混合溶液中,超声浸泡0.5~2分钟,清洗工件表面并干燥,利用原子层沉积的方法,在温度为150~280℃的条件下,在工件表面沉积一层厚度为50~150nm厚的氮化钛薄膜。利用原子层沉积设备沉积而成并在界面处通过腐蚀液进行刻蚀的纳米复合结构钛/氮化钛硬质薄膜,薄膜的膜基结合力大于70N,硬度高于50GPa。

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