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公开(公告)号：CN104198272A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410437861.6
申请日：2014-08-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种3D-TSV原位拉伸试样及其制备方法，所述试样包括试样柱部分、固定部分和夹持部分，其中：试样柱采用干膜代替正胶制备，以便于金属柱的生长；固定部分与试样柱部分一同电镀完成，并作为试样柱部分与外界连接的端口，以解决试样柱小难以操作的难题；为方便测试仪器的夹持，本发明运用电镀、粘结或焊接方法制备夹持部分，电镀方法是直接在固定端再次图形化一层条状金属，金属两端带圆环，弯折后圆环对齐作为夹持部分；粘结与焊接方法是将以制备好的夹持部分用粘结或焊接直接同固定端连接。本发明设计总体便于操作，步骤简单，在保证准确性的基础上优化了工艺。
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公开(公告)号：CN103325754A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310192830.4
申请日：2013-05-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L23/492 , H01L21/48
Abstract: 本发明提供了一种基于碳纳米管增强的聚合物复合材料转接板及其制备方法，包括金属柱、侧壁绝缘膜、碳纳米管网络结构和聚合物，其中：用侧壁绝缘膜包围金属柱的侧壁形成金属柱阵列规则排布在碳纳米管网络结构和聚合物组成的转接板基体中，碳纳米管网络结构内的空隙及碳纳米管网络结构与金属柱间的空隙由聚合物填充完整。本发明由于聚合物材料价格低、质量轻，同时碳纳米管具有良好的导热性能和机械性能，可以改善转接板的导热性能，并延长其使用寿命，因而实现低成本、质量轻的要求，便于实现产业化应用。
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公开(公告)号：CN105463536B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201510868665.9
申请日：2015-12-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种低成本图形化厚银膜的制备方法，所述方法的步骤包括：(1)先用碳酸钙清洗玻璃片表面，然后将玻璃片依次在碱性和酸性溶液中超声处理，并用去离子水超声清洗，进行烘干处理；(2)在经过步骤(1)清洗干净的玻璃片上溅射Cr/Cu种子层，依次进行甩光刻胶、烘胶、曝光、显影处理，实现光刻胶结构的图形化；(3)将经过步骤(2)处理后的玻璃片在酸性镀银镀液环境中进行电镀，然后再去除光刻胶和种子层最终实现图形化的银膜。本发明中的制备工艺可以与微加工工艺兼容，同时具有成本低，设备简单，易于控制等优点，有望在医疗器械和电子工业等领域得到应用。
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公开(公告)号：CN106017738A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610575054.X
申请日：2016-07-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01K15/00
CPC classification number: G01K15/007
Abstract: 本发明提供了一种薄膜热电偶的高温动态测试系统及方法，所述系统包括：辐射型热源、控制系统、冷却水系统、放大电路、数据采集卡和计算机，其中：控制系统连接辐射型热源，冷却水系统与辐射型热源连接，薄膜热电偶样品通过补偿导线依次与放大电路、数据采集卡和计算机连接；本发明采用的辐射型热源的最快温升能力达250℃/秒，将辐射型热源作为激励热源对薄膜热电偶样品进行动态测试，结果表明，从室温升到1200℃时，此方法能够实现薄膜热电偶的动态测试。
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公开(公告)号：CN103175718B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201310039874.3
申请日：2013-02-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种铜互连微柱力学性能原位压缩试样及其制备方法，所述试样是在PDMS孔中形成的圆形金属柱，包括试样部分和用于固定试样的固定端部分；所述的固定端部分为圆形或方形平板结构，所述试样部分在所述固定端部分的上端部分。本发明主体尺寸是微米级，试样受力方向与金属柱的生长方向一致，以PDMS为模板基底电镀金属铜柱的工艺克服了TSV在刻蚀硅的过程中，对金属铜柱有所腐蚀，进而影响对其力学性能准确测试的问题，缩短了实验的工艺周期，重现性好，成品率高；有效地解决薄膜层力学性能测试数据不能真实反应TSV孔内铜互连材料力学性能的问题，提高了3D封装设计与仿真模拟中TSV铜互连材料力学特性参数的真实性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102768148A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210247658.3
申请日：2012-07-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N3/02
Abstract: 本发明公开了一种用于TSV铜互连材料力学性能测试的原位压缩试样，所述试样包括试样部分和用于固定试样的固定端，所述的试样部分是在硅通孔中形成的圆形金属柱；所述的固定端部分为圆形或方形平板结构，所述试样部分在所述固定端的上端部分。本发明与国内外现有的微拉伸试样相比，试样受力方向与圆形金属柱的生长方向一致，且主体尺寸是微米级，实现了原位TSV铜柱的力学性能测试，能有效地解决薄膜层力学性能测试数据不能真实反应TSV孔内铜互连材料力学性能的问题，提高了3D封装设计与仿真模拟中TSV铜互连材料力学特性参数的真实性。
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公开(公告)号：CN1273214C
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200410066813.7
申请日：2004-09-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种可见光响应型二氧化钛光催化剂的制备方法，分别以钛酸酯和正硅酸乙酯为原料，以盐酸为催化剂，在醇和水溶液中发生水解和缩合反应，得到含SiO2的TiO2凝胶，将凝胶热处理后得到二氧化钛粉体，将二氧化钛粉体在550～700℃的氨气中进行氮化热处理，得到淡黄色含氮二氧化钛光催化剂。采用本发明的制备方法得到的含氮二氧化钛光催化剂能够吸收可见光，而且由于SiO2能够有效阻止TiO2在氮化热处理过程中的相变和晶粒长大，所制备的催化剂为锐钛矿型TiO2，具有颗粒尺寸小，比表面积大等特点，在可见光照射下具有较高的光催化性能。
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公开(公告)号：CN1613554A
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN200410066813.7
申请日：2004-09-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种可见光响应型二氧化钛光催化剂的制备方法，分别以钛酸酯和正硅酸乙酯为原料，以盐酸为催化剂，在醇和水溶液中发生水解和缩合反应，得到含SiO2的TiO2凝胶，将凝胶热处理后得到二氧化钛粉体，将二氧化钛粉体在550～700℃的氨气中进行氮化热处理，得到淡黄色含氮二氧化钛光催化剂。采用本发明的制备方法得到的含氮二氧化钛光催化剂能够吸收可见光，而且由于SiO2能够有效阻止TiO2在氮化热处理过程中的相变和晶粒长大，所制备的催化剂为锐钛矿型TiO2，具有颗粒尺寸小，比表面积大等特点，在可见光照射下具有较高的光催化性能。
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公开(公告)号：CN1613553A
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN200410066800.X
申请日：2004-09-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种可见光响应型二氧化钛光催化剂的高能球磨制备方法，以正硅酸乙酯为原料，采用溶胶－凝胶法制备出SiO2溶胶，将TiO2粉浸渍在SiO2溶胶中一段时间，再经煅烧成SiO2/TiO2复合粉末，将得到的复合粉体和尿素按比例混合后在高能球磨机上进行机械球磨，并将球磨得到的混合粉体在400～500℃的大气中进行热处理，最终得到淡黄色的二氧化钛粉体催化剂。本发明制备的二氧化钛粉体与传统二氧化钛粉体相比，在可见光区有优良的吸收，SiO2的加入保持了原料TiO2中的锐钛矿晶型，颗粒尺寸小，比表面积大，在可见光照射下具有较高的光催化活性。
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公开(公告)号：CN104810347B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510119860.1
申请日：2015-03-18
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L23/498 , H01L21/48
Abstract: 本发明提出一种碳化硅晶须/聚合物复合材料转接板及制备方法，包括金属柱阵列以及碳化硅晶须/聚合物复合材料薄膜，其中，通过旋涂或电泳的方法制备的碳化硅晶须/聚合物复合材料薄膜构成转接板的基体，金属柱阵列规则分布在碳化硅晶须/聚合物复合材料转接板基体中，并竖直贯穿其中。本发明采用碳化硅晶须/聚合物复合材料作为转接板，与采用纯聚合物材料或玻璃介质作为转接板相比，由于碳化硅晶须的引入使聚合物的导热性能和机械性能有了显著地提高，但又没有增加工艺难度，因而使转接板的整体性能得到提高，有望用于工业化生产。
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