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公开(公告)号:CN105463536B
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201510868665.9
申请日:2015-12-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种低成本图形化厚银膜的制备方法,所述方法的步骤包括:(1)先用碳酸钙清洗玻璃片表面,然后将玻璃片依次在碱性和酸性溶液中超声处理,并用去离子水超声清洗,进行烘干处理;(2)在经过步骤(1)清洗干净的玻璃片上溅射Cr/Cu种子层,依次进行甩光刻胶、烘胶、曝光、显影处理,实现光刻胶结构的图形化;(3)将经过步骤(2)处理后的玻璃片在酸性镀银镀液环境中进行电镀,然后再去除光刻胶和种子层最终实现图形化的银膜。本发明中的制备工艺可以与微加工工艺兼容,同时具有成本低,设备简单,易于控制等优点,有望在医疗器械和电子工业等领域得到应用。
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公开(公告)号:CN105463536A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201510868665.9
申请日:2015-12-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种低成本图形化厚银膜的制备方法,所述方法的步骤包括:(1)先用碳酸钙清洗玻璃片表面,然后将玻璃片依次在碱性和酸性溶液中超声处理,并用去离子水超声清洗,进行烘干处理;(2)在经过步骤(1)清洗干净的玻璃片上溅射Cr/Cu种子层,依次进行甩光刻胶、烘胶、曝光、显影处理,实现光刻胶结构的图形化;(3)将经过步骤(2)处理后的玻璃片在酸性镀银镀液环境中进行电镀,然后再去除光刻胶和种子层最终实现图形化的银膜。本发明中的制备工艺可以与微加工工艺兼容,同时具有成本低,设备简单,易于控制等优点,有望在医疗器械和电子工业等领域得到应用。
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