一种高温同步补偿薄膜应变计及其制备方法

    公开(公告)号:CN106403804A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610711988.1

    申请日:2016-08-23

    Abstract: 本发明提供一种高温同步补偿薄膜应变计及其制备方法,所述应变计以高温合金构件为基底,在基底上先磁控溅射过渡层合金并高温氧化生成薄层氧化铝薄膜,再双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜,在绝缘薄膜上射频磁控溅射沉积悬空补偿层支柱,PdCr应变层、悬空补偿PdCr应变层,溅射Cr然后高温氧化形成Cr2O3保护层。本发明适用于在构件工作过程中的实时测量;采用通用MEMS图形化工艺,溅射PdCr做应变层,制备悬空的PdCr应变层来进行温度补偿,补偿了温度变化对构件应变测量的影响,提高了应变计的测量精度,尤其是高温测量精度大大提高;采用磁控溅射Cr保护层高温钝化后结构致密、结合力好,对功能结构起到保护作用。

    热阻式薄膜热电堆型瞬态热流计及制备方法

    公开(公告)号:CN106017696A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610549808.4

    申请日:2016-07-13

    CPC classification number: G01J5/12 G01J2005/126

    Abstract: 本发明提供一种热阻式薄膜热电堆型瞬态热流计及制备方法,所述热流计包括陶瓷基底及设于陶瓷基底上的正极热电偶、负极热电偶、热电偶连接层、外热阻层及内热阻层,正极热电偶和负极热电偶通过热电偶连接层对接,外热阻层、内热阻层覆盖在正极热电偶、负极热电偶的上方;当外部环境在所述热流计上施加以垂直方向的热流时,外热阻层和内热阻层的厚度不同,正极热电偶和负极热电偶相连构成热结点和冷结点,相邻两个热结点和冷结点存在温度差,根据塞贝克效应,就有相应的电势输出,其输出电势与热流密度相关。本发明能够实现对热流密度的瞬态测量,具有结构简单、体积小、对被测场的影响小、响应速度快、测量温度范围大、测量精度高特点。

    液氦过滤器特性试验装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101008595A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200710036798.5

    申请日:2007-01-25

    Abstract: 液氦过滤器特性试验装置,属于低温工程与低温技术领域。主要包括氧气钢瓶、氮气钢瓶、氦气钢瓶、杂质气体预冷器、气液混合器、液氦过滤器、真空箱体、换热器、气相色谱仪、取样阀、液氦杜瓦、氦气流量计、氮气和氧气流量计。本发明中的液氦过滤器采用金属滤网结构;采用氮气和氧气作为杂质气体对液氦进行掺杂,在杂质气体预冷器内把杂质气体混合气的温度从室温降低至接近液氮温度,减少杂质气体混合气带入气液混合器中的热量,大大减少了液氦消耗量;采用特殊结构的气液混合器使纯净的液氦与掺杂气体之间的混合得以稳定地进行,既混合均匀、避免了堵塞,又减少了对混合器中液氦面冲击所造成的液氦损耗。为了验证经过过滤后氦气中的杂质含量,在排气管道上,通过取样阀对排气进行取样,利用气相色谱仪对排出气体进行分析。

    一种高温同步补偿薄膜应变计及其制备方法

    公开(公告)号:CN106403804B

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201610711988.1

    申请日:2016-08-23

    Abstract: 本发明提供一种高温同步补偿薄膜应变计及其制备方法,所述应变计以高温合金构件为基底,在基底上先磁控溅射过渡层合金并高温氧化生成薄层氧化铝薄膜,再双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜,在绝缘薄膜上射频磁控溅射沉积悬空补偿层支柱,PdCr应变层、悬空补偿PdCr应变层,溅射Cr然后高温氧化形成Cr2O3保护层。本发明适用于在构件工作过程中的实时测量;采用通用MEMS图形化工艺,溅射PdCr做应变层,制备悬空的PdCr应变层来进行温度补偿,补偿了温度变化对构件应变测量的影响,提高了应变计的测量精度,尤其是高温测量精度大大提高;采用磁控溅射Cr保护层高温钝化后结构致密、结合力好,对功能结构起到保护作用。

    瞬态温度和热流密度联测传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106840435A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201611229624.6

    申请日:2016-12-27

    CPC classification number: G01K7/02

    Abstract: 本发明提供一种瞬态温度和热流密度联测传感器及其制备方法,包括陶瓷基底及设于陶瓷基底上的正、负极热电偶,热电偶连接层,热阻层,正、负极热电偶引线端,正、负极热电堆引线端,正、负极热电偶通过热电偶连接层对接,一正极热电偶和一负极热电偶串联成一对热电偶,多对热电偶首尾搭接成薄膜热电堆,热阻层覆盖热电堆冷结点上方;当外部环境在传感器上施加垂直方向热流时,薄膜热电堆热、冷结点存在温度差,根据塞贝克效应就有相应电势输出,传感器一对热电偶热结点的输出与温度有关,热电堆的输出电势与热流密度相关。本发明能实现对温度和热流密度的瞬态测量,具有响应速度、测量温度范围大、测量精度高、对温度和热流密度同步测量等特点。

    液氦过滤器特性试验装置
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100545626C

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200710036798.5

    申请日:2007-01-25

    Abstract: 液氦过滤器特性试验装置,属于低温工程与低温技术领域。主要包括氧气钢瓶、氮气钢瓶、氦气钢瓶、杂质气体预冷器、气液混合器、液氦过滤器、真空箱体、换热器、气相色谱仪、取样阀、液氦杜瓦、氦气流量计、氮气和氧气流量计。本发明中的液氦过滤器采用金属滤网结构;采用氮气和氧气作为杂质气体对液氦进行掺杂,在杂质气体预冷器内把杂质气体混合气的温度从室温降低至接近液氮温度,减少杂质气体混合气带入气液混合器中的热量,大大减少了液氦消耗量;采用特殊结构的气液混合器使纯净的液氦与掺杂气体之间的混合得以稳定地进行,既混合均匀、避免了堵塞,又减少了对混合器中液氦面冲击所造成的液氦损耗。为了验证经过过滤后氦气中的杂质含量,在排气管道上,通过取样阀对排气进行取样,利用气相色谱仪对排出气体进行分析。

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