公开(公告)号：CN101568796A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200780047607.3

申请日：2007-10-31

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 坂井智嗣 ,  津村阳一郎 ,  饭田政巳 ,  川添浩平

IPC: G01B11/06 ,  H01L31/04

CPC classification number: G01B11/06 ,  G01B11/0625 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，其目的在于减轻作业员的负担，并且提高制造效率。通过线型照明器(3)，对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光，并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的色评价值对应的膜厚。

公开(公告)号：CN101568797B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200780047754.0

申请日：2007-10-31

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 坂井智嗣 ,  饭田政巳 ,  川添浩平

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0633 ,  G01B11/0683 ,  G01B11/303

Abstract: 本发明以降低膜厚的计测误差为目的。对将膜质状态及膜厚不同的薄膜形成于基板上的多个样本照射不同波长的照明光，分别计测与照射各波长的照明光时的透射光的光量相关的评价值，基于该计测结果，对每个波长作成表示各膜质状态中膜厚和评价值的相关关系的膜厚特性，在各膜厚特性中选择由膜质状态引起的评价值的计测差在规定范围内的波长。