公开(公告)号：CN101981431A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980111369.7

申请日：2009-07-02

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 坂井智嗣 ,  高野晓巳 ,  小林靖之 ,  山口贤刚

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/35 ,  G01R27/02 ,  H01L31/04

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/55 ,  G01N21/8422 ,  G01R31/2831 ,  H01L31/1884 ,  Y10T29/53126

Abstract: 以非破坏、非接触、高效率且高精度计测透明导电膜的电阻率为目的。提供一种电阻率检查装置，具备：光照射装置(3)，其将具有通过事先进行的检查条件选定方法选定的波长的P偏振光的照明光以通过该方法选定的入射角对在制造生产线上输送的透光性基板上成膜的透明导电膜从膜面侧进行照射；光检测装置(2)，其检测在透明导电膜反射的反射光；信息处理装置(7)，其基于检测到的光的强度，算出与该波长有关的反射光的光量的评价值，使用将评价值与电阻率预先建立关联的相关特性，由算出的所述评价值求出电阻率。

公开(公告)号：CN101622719A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200880006731.X

申请日：2008-02-08

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 小林靖之 ,  坂井智嗣 ,  山口贤刚 ,  浅原裕司 ,  吴屋真之

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01L31/076 ,  H01L31/0463 ,  Y02E10/548

Abstract: 本发明提供一种能够以低成本获得更高性能的光电变换装置及其制造方法。具备被层叠的至少二层光电变换层、和介于所述二层光电变换层之间且对该二层光电变换层进行电连接及光学连接的中间层(93)的光电变换装置(90)，在所述中间层(93)表面上具有等离子体抗性保护层(93A)。

公开(公告)号：CN102124570A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200980132390.5

申请日：2009-08-11

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 小林靖之 ,  坂井智嗣 ,  吴屋真之

IPC: H01L31/0236 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/075

CPC classification number: H01L31/1884 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供通过使基板侧的透明电极层、中间层及背面侧的电极层的结构最优化来增大取出电流的光电转换装置。光电转换装置(100)的特征在于，在基板(1)上至少具备透明电极层(2)、光电转换层(3)和背面电极层(4)，所述透明电极层(2)的设有所述光电转换层(3)一侧的表面具备山部(2a)和在该山部(2a)的表面设置的微小凹凸部(2b)，凹凸结构的间距为1.2μm以上且1.6μm以下，所述山部(2a)的高度为0.2μm以上且0.8μm以下，所述微小凹凸部(2b)中的凸部的间距为0.05μm以上且0.14μm以下，所述凸部的高度为0.02μm以上且0.1μm以下。

公开(公告)号：CN101779295A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200980100161.5

申请日：2009-01-09

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 坂井智嗣 ,  浅原裕司 ,  小林靖之 ,  森匡史 ,  鹤我薰典 ,  山下信树

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01L31/1884 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/056 ,  H01L31/076 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548

Abstract: 本发明提供一种转换装置及其制造方法，通过将背面结构的表面形状最适宜化，提高发电层的光吸收特性。光电转换装置(100)在基板(1)上从基板(1)侧依次具备第一透明电极层(2)、发电层(3)、第二透明电极层(6)、背面电极层(4)，其特征在于，背面电极层(4)具备银薄膜，第二透明电极层(6)的背面电极层(4)侧的表面具有微细的凹凸形状，相对于表面的投影面积的表面积增加率为10％以上32％以下。以及，光电转换装置(100)在基板(1)上从基板(1)侧依次具备第一透明电极层(2)、发电层(3)、第二透明电极层(6)、背面电极层(4)，其特征在于，背面电极层(4)具备银薄膜，第二透明电极层(6)的背面电极层(4)侧的表面具有微细的凹凸形状，第二透明电极层(6)具有针状晶体。