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公开(公告)号：CN100503115C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200580048770.2
申请日：2005-02-28
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23H7/26
CPC分类号： B23H9/14 , B23H7/265 , B23H2400/10
摘要： 将收容于导管(70)的电极丝(W)供给到被加工物(13)的加工区域的放电加工装置(10)具有配置于垂直方向的空心圆筒状的驱动轴(40)，该驱动轴(40)具有沿上下方向的中心轴(Z)收容导管的空间，该导管收容电极丝。头(50)具有保持导管的第1保持部(54)和保持从导管的下端开口突出的电极丝的第2保持部(62)，可自由装拆地设于驱动轴的下端。因此，通过更换头，可更换电极丝。
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公开(公告)号：CN101309770A
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200580052095.0
申请日：2005-11-16
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23H7/02
摘要： 本发明涉及对太阳能电池用硅等的不良导体的线放电加工方法，和基于该线放电加工方法的半导体晶片制造方法以及太阳能电池用单元制造方法。本发明提供通过在线电极上施加脉冲宽度大于等于1μsec且小于等于4μsec、并且线电极在加工时的峰值电流大于等于10A且小于等于50A的脉冲电压，在上述线电极与加工对象物之间发生放电脉冲，对大于等于0.5Ω·cm且小于等于5Ω·cm的高电阻率硬脆材料进行放电加工的方法。
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公开(公告)号：CN1935434A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610132091.X
申请日：2003-12-05
申请人： 三菱电机株式会社
摘要： 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括：顶端部指向被加工物(2)且在与被加工物(2)之间加上电压后进行放电的加工用电极(1)；与该加工用电极(1)连接的驱动轴(7)；向电磁铁部(40b、50b、51b)供给电流来控制电磁铁部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驱动轴(7)向作为轴线的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向和与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向的(3)方向移动且具有磁轴承(40、50、51)的电极驱动装置(5)；与前述驱动轴(7)的端部连接且能在前述三方向上移动的联轴节(100)；与该联轴节(100)的端部连接且通过联轴节(100)使前述驱动轴(7)旋转的电动机(20)。
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公开(公告)号：CN1265926C
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN01821847.4
申请日：2001-01-09
摘要： 放电加工装置利用电力供给手段(13)对设置于加工液(3)中的电极(1)与工件(2)的极间供给加工电力，利用定位手段使电极(1)及工件(2)相对移动并进行加工，同时进行跳变动作，所述装置具备：检测加工反作用力的加工反作用力检测手段(20、21、22)，设定加工反作用力的规定值的加工反作用力规定值设定手段(23)，将加工反作用力检测手段(20、21、22)检测出的加反作用力检测值与加工反作用力规定值设定手段(23)设定的加工反作用力规定值作比较的加工反作用力比较手段(24)，以及利用比较手段进行比较发现所述检测值大于所述规定值时为减小加工反作用力而进行所述跳变动作的轨迹变更的动作轨迹变更手段。能防止主轴驱动零件等的损伤及加工精度的下降，并可提高加工生产率。
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公开(公告)号：CN1121293C
公开(公告)日：2003-09-17
申请号：CN00808804.7
申请日：2000-05-15
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： H04M3/533 , H04M3/5307 , H04M3/537 , H04M11/022 , H04Q3/625
摘要： 一种电火花加工装置，其中具有：一边把规定电压加到电极(11)和被加工物(12)之间，一边对电极(11)和被加工物(12)的极间距离进行控制的极间伺服控制部(3)、以及按照一定时间或者加工状态对跳跃动作进行控制使极间距离临时增大的跳跃控制部(2)，在该电火花加工装置内，跳跃控制部(2)具有一种跳跃轨迹生成部(1)，用于生成平滑指令轨迹，该轨迹具有不大于规定频率或规定频率未满的规定频率范围内的频率成分，跳跃控制部(2)利用由跳跃轨迹生成部(1)生成的平滑指令轨迹来控制跳跃动作。
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公开(公告)号：CN1398210A
公开(公告)日：2003-02-19
申请号：CN01803195.1
申请日：2001-09-19
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23H7/32
CPC分类号： B23H7/32 , B23H7/26 , B23H7/28 , B23H7/30 , B23H2400/10
摘要： 本发明的放电加工装置，它具有安装加工用电极(101)的电极安装单元(106)；电极驱动单元，该电极驱动单元由沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的径向驱动单元(107)、(108)和沿着轴向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的轴向驱动单元(111)、(112)构成，并通过由电极驱动单元调整加工用电极(101)的位置从而控制加工状态。根据这样的结构，通过抑制必须同时与电极驱动的部分的质量增加，实现X轴、Y轴、Z轴方向的高速响应性，实现能够改善加工速度和加工精度的放电加工装置。
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公开(公告)号：CN101309770B
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200580052095.0
申请日：2005-11-16
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23H7/02
摘要： 本发明涉及对太阳能电池用硅等的不良导体的线放电加工方法，和基于该线放电加工方法的半导体晶片制造方法以及太阳能电池用单元制造方法。本发明提供通过在线电极上施加脉冲宽度大于等于1μsec且小于等于4μsec、并且线电极在加工时的峰值电流大于等于10A且小于等于50A的脉冲电压，在上述线电极与加工对象物之间发生放电脉冲，对大于等于0.5Ω·cm且小于等于5Ω·cm的高电阻率硬脆材料进行放电加工的方法。
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公开(公告)号：CN1935435A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610132092.4
申请日：2003-12-05
申请人： 三菱电机株式会社
摘要： 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括：顶端部指向被加工物(2)且在与被加工物(2)之间加上电压后进行放电的加工用电极(1)；与该加工用电极(1)连接的驱动轴(7)；向电磁铁部(40b、50b、51b)供给电流来控制电磁铁部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驱动轴(7)向作为轴线的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向和与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向的(3)方向移动且具有磁轴承(40、50、51)的电极驱动装置(5)；与前述驱动轴(7)的端部连接且能在前述三方向上移动的联轴节(100)；与该联轴节(100)的端部连接且通过联轴节(100)使前述驱动轴(7)旋转的电动机(20)。
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