致动器和光扫描装置
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103036471B

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201210379990.5

    申请日:2012-09-29

    CPC classification number: H01L41/0475 G02B26/0858 H01L41/0805

    Abstract: 本发明的目的是提供能够防止绝缘破坏的致动器和光扫描装置。一种致动器,由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成,该致动器具有:上部配线,其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极;以及绝缘部,其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部,将所述上部电极与所述下部电极绝缘,所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。

    光扫描装置及光扫描控制装置

    公开(公告)号:CN105700129A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201610237754.8

    申请日:2012-09-29

    Abstract: 本发明提供能够减少传感器配线的干扰,高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有:以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁;将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁;以及第一压电传感器,其形成在连结梁上,当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时,检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移,第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出,将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。

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