公开(公告)号：CN102171455A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200980138585.0

申请日：2009-11-12

Applicant: 爱发科低温泵株式会社 ,  株式会社爱发科

Inventor： 小室拓 ,  增田行男 ,  降矢新治 ,  斋藤一也 ,  大园修司 ,  浅利伸

IPC: F04B37/16 ,  F04B37/08 ,  F04B37/18

CPC classification number: F04B37/08 ,  F04B37/18

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够抑制臭氧在低温泵中的存留的真空排气装置、真空处理装置以及真空排气方法。为达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空排气装置(1)包括：真空处理用的处理室(11)泵单元，该泵单元具有冷捕集器(161)与排气通路(13A)，所述冷捕集器(161)能够捕集排出气体，所述排气通路(13A)用于将所述排出气体从所述处理室(11)导向所述冷捕集器(161)；加热单元(20)，其使从所述处理室(11)流向所述冷捕集器(161)的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路(13A)中产生热分解。

公开(公告)号：CN100530546C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200580011103.7

申请日：2005-03-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 北添牧子 ,  大园修司 ,  伊藤博巳 ,  斋藤一也 ,  浅利伸

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/4405

Abstract: 本发明提供不将催化体加热到2000℃以上，抑制清洁气引起的催化体腐蚀劣化，在低成本下进行实用的清洁速度和良好的清洁的自洁式催化化学蒸镀装置。使从加热电源(6)和该加热电源(6)的各端子(6a)、(6b)间向反应容器(2)内的催化体(4)通入恒电流的导线(5a)、(5b)与反应容器(2)为电绝缘的状态，在已排气的反应容器(2)内导入含有卤素元素的清洁气，通过从加热电源(6)通电加热催化体(4)，使通过该加热而生成的活性种与附着在反应容器(2)内的附着膜反应而除去附着膜，此时，从恒压电源(8)以适当的极性在加热电源(6)的导线(5b)上外加适当值的直流偏压。