塑料基板和包括其的显示装置

    公开(公告)号:CN107976830B

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN201710997049.2

    申请日:2017-10-20

    Abstract: 公开塑料基板和包括其的显示装置。所述塑料基板包括:包括聚(酰胺‑酰亚胺)共聚物的膜和设置在所述包括聚(酰胺‑酰亚胺)的膜的一个表面上的硬涂层,其中所述硬涂层包括通过其能交联的官能团交联的硅氧烷共聚物,并且所述塑料基板具有根据ASTM D3363在约1kg的竖直负荷下测量的大于或等于2H的铅笔划痕硬度、在约350nm‑约750nm波长区域中大于或等于约89%的透射率、和挠曲特性。

    包括光敏性聚合物的非离子型非化学放大光致抗蚀剂组合物和制造集成电路器件的方法

    公开(公告)号:CN118625595A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410229613.6

    申请日:2024-02-29

    Abstract: 本发明涉及包括光敏性聚合物的非离子型非化学放大光致抗蚀剂组合物和制造集成电路器件的方法。光致抗蚀剂组合物包括包含光敏性聚合物的非离子型非化学放大光致抗蚀剂组合物,光敏性聚合物包括具有极性反转基团的第一重复单元和具有敏化基团的第二重复单元。制造集成电路器件的方法包括:通过使用光致抗蚀剂组合物在特征层上形成光致抗蚀剂膜,将作为光致抗蚀剂膜的一部分的第一区域曝光以在第一区域中由第二重复单元产生二次电子并且通过使用第一区域中的二次电子改变第一重复单元的极性以反转第一区域的极性,通过使用显影剂除去光致抗蚀剂膜的未经曝光的区域以形成包括第一区域的光致抗蚀剂图案,和通过使用光致抗蚀剂图案处理特征层。

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