公开(公告)号：CN1177294C

公开(公告)日：2004-11-24

申请号：CN02119151.4

申请日：2002-05-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金昌桢 ,  朴永洙 ,  李俊冀

IPC: G06K9/00

CPC classification number: G06K9/0002

Abstract: 提供了一种通过将作用于压电薄膜的压力转换成电信号来感知指纹的指纹传感器。该指纹传感器具有一个压电器件集合体，它包括：衬底；在衬底上形成的下部电极；在下部电极上形成的压电薄膜；在压电薄膜上形成的上部电极；在上部电极上形成的加压部分，该加压部分用于通过由于指纹接触所产生的压力来改变压电薄膜上的电荷量；以及在下部电极上形成的非导电层，该非导电层用于支撑和暴露所述加压部分。结果，能够提供一种结构简单，并且能够利用压电现象准确感知指纹信息的指纹传感器。该指纹传感器能够应用于公共机构和私人企业中用于确定人员身份的系统，以及个人便携系统。

公开(公告)号：CN1510724A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN03127833.7

申请日：2003-08-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李容均 ,  朴永洙 ,  李俊冀

IPC: H01L21/316 ,  C01B13/14 ,  C01G29/00 ,  H01L27/10

CPC classification number: C04B35/6264 ,  C01G23/002 ,  C01G25/006 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/03 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/491 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3427 ,  C04B2235/44 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/483 ,  H01L21/31691

Abstract: 本发明提供一种形成铁电薄膜的组合物，利用该组合物形成的铁电薄膜，及形成该铁电薄膜的方法。该组合物包含PZT溶胶－凝胶溶液和Bi2SiO5溶胶－凝胶溶液。PZT溶胶－凝胶溶液包括铅(Pb)前体的全部或部分水解产物及Pb前体的全部或部分水解和缩聚的产物中的至少一种；锆(Zr)前体的全部或部分水解产物，Zr前体的全部或部分水解和缩聚的产物，及具有至少一个羟基离子和至少一个不可水解配体的Zr络合物中的至少一种；以及钛(Ti)前体的全部或部分水解产物，Ti前体的全部或部分水解和缩聚的产物，及具有至少一个羟基离子和至少一个不可水解配体的Ti络合物中的至少一种。Bi2SiO5溶胶－凝胶溶液包括硅(Si)前体的全部或部分水解产物及Si前体的全部或部分水解和缩聚的产物中的至少一种；及通过回流铋(Bi)前体三苯基铋(Bi(Ph)3)或Bi(tmhd)3与C1－C10烷氧基醇而得到的产物，其中tmhd为2，2，6，6－四甲基庚烷－3，5－二酮化物(dionate)。

公开(公告)号：CN1154546C

公开(公告)日：2004-06-23

申请号：CN99110200.2

申请日：1999-07-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李俊冀 ,  金昌桢 ,  郑一燮

IPC: B08B3/08 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02071 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31691

Abstract: 提供了一种采用浸蚀剂清洗PZT薄膜的方法。该方法采用HF(或缓冲氧化物浸蚀剂(BOE))和乙酸的混合物，或HF(BOE)、乙酸和醇的混合物，作为浸蚀剂，从而降低了PZT薄膜的浸蚀速率，该浸蚀速率在很大程度上取决于HF的浓度，进而可以采用这种浸蚀剂把PZT薄膜浸蚀去掉一个较薄的厚度为100埃或更薄。所以，只有PZT薄膜表面上的第二相晶体或浸蚀破坏层能被去除。

公开(公告)号：CN1385813A

公开(公告)日：2002-12-18

申请号：CN02119151.4

申请日：2002-05-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金昌桢 ,  朴永洙 ,  李俊冀

IPC: G06K9/00

CPC classification number: G06K9/0002

Abstract: 提供了一种通过将作用于压电薄膜的压力转换成电信号来感知指纹的指纹传感器。该指纹传感器具有一个压电器件集合体,它包括:衬底;在衬底上形成的下部电极;在下部电极上形成的压电薄膜;在压电薄膜上形成的上部电极;在上部电极上形成的加压部分,该加压部分用于通过由于指纹接触所产生的压力来改变压电薄膜上的电荷量;以及在下部电极上形成的非导电层,该非导电层用于支撑和暴露所述加压部分。结果,能够提供一种结构简单,并且能够利用压电现象准确感知指纹信息的指纹传感器。该指纹传感器能够应用于公共机构和私人企业中用于确定人员身份的系统,以及个人便携系统。