喷墨打印头及其制造方法
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1923516A

    公开(公告)日:2007-03-07

    申请号:CN200610128040.X

    申请日:2006-09-04

    CPC classification number: B41J2/1404 B41J2/14145 B41J2002/14387

    Abstract: 本发明提供了一种喷墨打印头和制造喷墨打印头的方法。所述喷墨打印头包括:基板,其包括形成在其上表面中的多个限流部和形成在其下表面中、与所述多个限流部连通的墨输送孔;墨室层,其叠置在所述基板上,并包括对应于所述多个限流部且容纳要喷射的墨的多个墨室,其中每个所述墨室形成在对应的一个限流部的上部上,并连接至所述对应的一个限流部;多个加热器,其形成在所述多个墨室中对应的墨室的底面上,用于加热墨室中的墨以产生气泡;以及喷嘴层,其叠置在所述墨室层上并包括用于喷墨的喷嘴。

    喷墨打印头及其制造方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1883947A

    公开(公告)日:2006-12-27

    申请号:CN200610093758.X

    申请日:2006-06-19

    Abstract: 本发明涉及一种喷墨打印头及其制造方法。该喷墨打印头包括具有给墨孔的衬底、形成在所述衬底上从而定义填充以通过所述给墨孔供应的墨的墨室的室层、以及形成在所述室层上且具有一个或更多喷嘴以喷射填充在所述室中的墨的喷嘴层,其中所述室层和所述喷嘴层由固体膜抗蚀剂制成。

    喷墨头及其制造方法
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100553981C

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200510088408.X

    申请日:2005-07-26

    Abstract: 本发明公开了一种具有金属腔层的喷墨头的制造方法。该方法包括制备具有压力产生元件的基板,该压力产生元件用于产生压力以喷射墨。然后在所述基板上形成用于界定墨流动通道的侧壁的金属腔层。形成牺牲层以填充在由所述金属腔层界定的侧壁之间将形成墨流动通道的区域。然后在所述金属腔层和所述牺牲层上形成喷嘴层,该喷嘴层具有对应于所述压力产生元件的喷嘴。

    制造整体式喷墨打印头的方法

    公开(公告)号:CN1600549A

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:CN200410011813.7

    申请日:2004-09-23

    CPC classification number: B41J2/1626 B41J2/1603 B41J2/1631

    Abstract: 一种制造整体式喷墨打印头的方法包括:在一基底上形成加热器和用于向该加热器供给电流的电极;通过向基底上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其进行图案化处理,形成环绕在油墨通道周围的通道形成层;至少利用两次光刻,通过反复向具有通道形成层的基底上涂敷正型光致抗蚀剂并且对其构图处理,在由通道形成层环绕起来的空间中形成具有平整顶表面的牺牲层;通过向通道形成层和牺牲层上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其构图,形成具有喷嘴的喷嘴层;从基底的底表面对该基底进行蚀刻来进行打孔,并且形成油墨供给孔;以及去除牺牲层。由于牺牲层的顶表面被平整化,所以可轻易控制油墨通道的形状和尺寸,由此提高油墨通道的均一度。

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