公开(公告)号：CN116071516A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211357538.9

申请日：2022-11-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 明相勋 ,  张元翼 ,  郑椙旭 ,  崔在铭

IPC: G06T17/20 ,  G06N3/0464 ,  G06N20/00 ,  G06F30/23

Abstract: 一种三维(3D)建模方法，包括：获得表示3D结构的几何数据和包括确定3D结构的属性的因素的输入参数；根据几何数据来生成网格数据；根据网格数据来顺序地生成至少一条经下采样的数据；对输入参数进行预处理来生成3D特征图；以及基于分别与至少一个级相对应的至少一个机器学习模型，根据至少一条经下采样的网格数据和3D特征图来生成属性简档数据，该属性简档数据表示3D结构中的属性的简档。

公开(公告)号：CN115639756A

公开(公告)日：2023-01-24

申请号：CN202210852931.9

申请日：2022-07-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 明相勋 ,  文晓元 ,  全镕宇 ,  郑椙旭 ,  崔在铭

IPC: G05B17/02

Abstract: 提供了一种基于目标的仿真数据和测量数据来生成仿真模型的方法和神经网络装置。该方法包括：基于重要性程度将基于仿真数据学习的预学习模型中所包括的权重参数分类为第一权重组和第二权重组；基于仿真数据来重新训练预学习模型的第一权重组；以及基于测量数据来训练迁移学习模型的第二权重组，其中，迁移学习模型包括基于仿真数据重新训练的预学习模型的第一权重组。

公开(公告)号：CN110066988B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN201910034623.3

申请日：2019-01-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李相烨 ,  池正根 ,  郑盛允 ,  崔在铭

IPC: C23C16/455 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  B33Y80/00

Abstract: 提供了一种用于生成喷头的3D形状数据的设备、一种制造喷头的方法和一种用于制造喷头的系统。所述设备包括：数据处理器，生成包括指示晶圆的上表面与喷头之间的第一距离的值的信息、指示晶圆上的位置的信息以及关于流体流动物理量值的信息的数据集，并且确定表示各个信息之间的关系的函数；输入单元，接收状况数据和每个位置的目标流体流动物理量值；以及数据库，存储关于所述函数的信息。数据处理器获得关于每个位置处的晶圆的上表面与喷头之间的具有目标流体流动物理量值的第二距离的信息，提取喷头的下表面的空间坐标信息，并且利用空间坐标信息生成喷头的3D形状数据。