三维半导体存储器件
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111106127A

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201910743287.X

    申请日:2019-08-13

    Abstract: 一种三维半导体存储器件包括:在衬底上的电极结构,电极结构包括在垂直于衬底的顶表面的第一方向上堆叠的栅电极;垂直半导体图案,穿透电极结构并连接到衬底;以及数据存储图案,在电极结构和垂直半导体图案之间。数据存储图案包括顺序堆叠的第一绝缘图案、第二绝缘图案和第三绝缘图案。第一至第三绝缘图案的每个包括沿平行于衬底的顶表面的第二方向延伸的水平部分。第一、第二和第三绝缘图案的水平部分在第一方向上顺序地堆叠。第一绝缘图案的水平部分和第三绝缘图案的水平部分中的至少一个在第二方向上突出超过第二绝缘图案的水平部分的侧壁。

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