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公开(公告)号：CN118103335A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202280069478.2
申请日：2022-09-01
申请人： 野村微科学股份有限公司
摘要： 一种电极水的回收方法，所述电极水的回收方法在超纯水制造工序中，被处理水通过电去离子处理中的阴极室生成电极水，从所述电极水中除去氢气并进行回收，将电极水散布在填充于洗涤器中的填充物上，且从填充物的下方供给惰性气体，使惰性气体与电极水中的氢气反应，将通过该反应生成的处理气体从填充物上方的排气口进行排气，回收除去了氢气的处理水。
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公开(公告)号：CN116997796A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202280019102.0
申请日：2022-03-04
申请人： 野村微科学股份有限公司 , 学校法人上智学院
IPC分类号： G01N33/53
摘要： 本发明提供一种受试物质的检测方法，包括：工序A，在所述工序A中，添加含有受试物质和水的检体、具有应答部位与识别部位通过间隔物连接而成的结构的化合物以及表面活性剂；以及工序B，在所述工序B中，所述识别部位与所述受试物质相互作用，检测由所述相互作用产生的所述应答部位的应答。本发明还提供一种使用受试物质的检测方法的纯化水制造方法及注射用水制造方法、以及含有式(1)所表示的化合物和表面活性剂的检测试剂组合物、使用检测试剂组合物的检测装置、纯化水制造设备以及注射用水制造设备。
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公开(公告)号：CN116529584A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202180079884.2
申请日：2021-12-06
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： G01N15/06
摘要： 提供一种水质测定系统及水质测定方法，其抑制来自切换阀门等装置结构的污染物质的产生，能够以高精度测定测定对象的处理水的水质。水质测定系统(10)具有：使第一处理水流通的第一配管(11)；从第一配管(11)分支并具有第一阀门(V11)的第一分支管(11a)；使第二处理水流通的第二配管(12)；从第二配管(12)分支并具有第二阀门(V12)的第二分支管(12a)；与第一配管(11)及第二配管(12)连接，使第一处理水及第二处理水流通的第三配管(13)；以及测定在第三配管(13)中流通的处理水的水质的水质测定装置(14)。
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公开(公告)号：CN112770825B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201980063396.5
申请日：2019-11-11
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 松井恭则
IPC分类号： C02F9/00 , C02F1/32 , C02F1/42 , C02F1/44 , C02F1/20 , B01D61/00 , B01D61/58 , B01D63/02 , C02F103/04
摘要： 实现纯水制造装置的启动期间的缩短化。本发明的超纯水制造装置的启动方法是具备至少包含用于流过被处理水的流路、和被设置在所述流路上且在使用点的前级对所述被处理水进行水处理的超滤膜装置的水处理系统的超纯水制造装置的启动方法，其中，具有：在所述流路上的所述超滤膜装置的前级，设置临时放置的过滤器装置的工序；在所述临时放置的过滤器装置的设置后，通过沿着所述流路开始送水从而清洗所述水处理系统的工序；以及在从基于所述送水的清洗的开始起经过规定的期间后，将所述临时放置的过滤器装置从所述超纯水制造装置分离的工序。
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公开(公告)号：CN115461133A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202180026266.1
申请日：2021-09-03
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 中村清一
摘要： 脱盐装置12(液体处理装置)具有：第一水处理单元26(液体处理单元)，该第一水处理单元26包括反渗透膜、以将被处理液分离成透过反渗透膜的透过液和透过液以外的浓缩液；水回收单元28(液体回收单元)，该水回收单元28包括反渗透膜、以将浓缩液分离成透过反渗透膜的回收液和回收液以外的排液；以及升压机构，该升压机构使浓缩液的液压升高，使得液体回收单元中的能够分离成回收液和排液的状态持续，从而将浓缩液从液体处理单元直接输送到液体回收单元。
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公开(公告)号：CN114616212A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202080072825.8
申请日：2020-11-10
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： C02F9/02 , C02F9/06 , B01D61/58 , B01D61/46 , B01D61/44 , B01D61/08 , C02F103/04 , C02F101/10
摘要： 本发明提供不使用膜脱气装置而能够进行稳定运转的超纯水制造方法、超纯水制造系统、纯水制造方法及纯水制造系统。一种超纯水制造方法，其是将被处理水用第1反渗透膜装置(2)处理后，接着依次用电动式脱离子装置(3)及硼除去装置(4)处理，从而得到硼浓度为1ng/L以下的超纯水，其中，电动式脱离子装置(3)的被处理水含有超过1mg/L的碳酸，并且，电动式脱离子装置(3)的处理水被除去了碳酸、含有1μg/L以下的硼。
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公开(公告)号：CN112770825A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980063396.5
申请日：2019-11-11
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 松井恭则
IPC分类号： B01D19/00 , B01D61/00 , B01D61/58 , B01D63/02 , C02F9/02 , C02F9/04 , C02F9/08 , C02F9/12 , C02F1/32 , C02F1/42 , C02F1/44
摘要： 实现纯水制造装置的启动期间的缩短化。本发明的超纯水制造装置的启动方法是具备至少包含用于流过被处理水的流路、和被设置在所述流路上且在使用点的前级对所述被处理水进行水处理的超滤膜装置的水处理系统的超纯水制造装置的启动方法，其中，具有：在所述流路上的所述超滤膜装置的前级，设置临时放置的过滤器装置的工序；在所述临时放置的过滤器装置的设置后，通过沿着所述流路开始送水从而清洗所述水处理系统的工序；以及在从基于所述送水的清洗的开始起经过规定的期间后，将所述临时放置的过滤器装置从所述超纯水制造装置分离的工序。
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公开(公告)号：CN112088422A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980029833.1
申请日：2019-04-26
申请人： 国立大学法人东北大学 , 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： H01L21/304 , B01F1/00 , B01F3/04 , B01F5/06 , C02F1/68 , G03F7/42 , H01L21/027 , C11D7/18 , C11D7/54
摘要： 对于以往的臭氧水而言，当今的半导体制造领域所要求的抗蚀剂去除速度/清洗力尚不充分，在食材的清洗、加工设备/器具的清洗、手指的清洗等领域、进而在消臭/脱臭/除菌/食材保鲜等领域中，也无法充分满足进一步提高杀菌/除菌/消臭/脱臭/清洗效果的期待。上述课题可通过将臭氧水的制造中的某些特定的多个制造参数的值规定为某一特定范围来解决。
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公开(公告)号：CN110538576A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910438933.1
申请日：2019-05-24
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： B01D63/02 , C02F9/06 , C02F103/04
摘要： 本发明提供能够显著降低超纯水、特别是温超纯水中的微量离子成分的浓度的超滤膜组件及超纯水制造方法。一种超滤膜组件，其是包含由超滤膜形成的多根中空纤维膜(1)和容纳多根中空纤维膜(1)的筒状壳体(2)的超滤膜组件(10)，其中，筒状壳体(2)在其外周面具备沿筒状壳体(2)的轴向彼此分开配设、导入被处理水并使浓缩水流出的第1喷嘴(2a)及第2喷嘴(2b)、配设于筒状壳体的两端部且使透过中空纤维膜(1)后的透过水及排出水分别流出的第3喷嘴(6a)及第4喷嘴(6b)以及将多根中空纤维膜1以规定的配置固定并且将筒状壳体2密封的一对固定部(3a)、(3b)。
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公开(公告)号：CN101547741B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200780044905.7
申请日：2007-11-30
申请人： 野村微科学股份有限公司
摘要： 本发明提供一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其从在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液中除去螯合物，并且使洗涤负荷减轻。在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法中，通过用有机络合物吸附体来处理碱性药液，将由上述药液中含有的镍、铜等杂质金属形成的螯合物除去。
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