超滤膜组件及使用了超滤膜组件的超纯水制造方法
摘要:
本发明提供能够显著降低超纯水、特别是温超纯水中的微量离子成分的浓度的超滤膜组件及超纯水制造方法。一种超滤膜组件,其是包含由超滤膜形成的多根中空纤维膜(1)和容纳多根中空纤维膜(1)的筒状壳体(2)的超滤膜组件(10),其中,筒状壳体(2)在其外周面具备沿筒状壳体(2)的轴向彼此分开配设、导入被处理水并使浓缩水流出的第1喷嘴(2a)及第2喷嘴(2b)、配设于筒状壳体的两端部且使透过中空纤维膜(1)后的透过水及排出水分别流出的第3喷嘴(6a)及第4喷嘴(6b)以及将多根中空纤维膜1以规定的配置固定并且将筒状壳体2密封的一对固定部(3a)、(3b)。
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