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公开(公告)号：CN118420086A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410069951.8
申请日：2024-01-17
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： C02F1/70 , C02F1/32 , C02F103/04
摘要： 本发明提供一种水处理方法、水处理装置以及纯水制造系统。本发明高效地从被处理水去除尿素。在水处理方法中，向被处理水中添加还原剂，向添加有还原剂的被处理水照射紫外线照射来分解尿素。
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公开(公告)号：CN116322947A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180068852.2
申请日：2021-04-30
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： B01D61/02
摘要： 本发明提供一种超纯水的制造系统及制造方法，该超纯水的制造系统在使用超纯水后将含有过氧化氢的使用完的超纯水作为超纯水制造的被处理水进行再利用的超纯水制造中，通过简易的构成，可有助于装置及被处理水的清洁化。一种超纯水制造系统(1)，其是具有前处理部(2)、一次纯水制造部(3)及二次纯水制造部(4)、且用于制造超纯水的超纯水制造系统，其具有：贮存部(5)，该贮存部(5)设置于前处理部(2)的前段或前处理部(2)与一次纯水制造部(3)之间，能够贮存原水或被处理水；回收处理部(6)，该回收处理部(6)对于超纯水的使用后得到的含有过氧化氢的使用完的超纯水，将混入该使用完的超纯水中的杂质除去，并且使过氧化氢的一部分或全部透过而制成回收水；和循环机构(7)，该循环机构(7)将由该回收处理部(6)得到的回收水送回至贮存部(5)并使其循环。
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公开(公告)号：CN116195031A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202180055320.5
申请日：2021-06-21
申请人： 野村微科学股份有限公司 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 提供一种能够在充分地考虑对环境的负担并且抑制剥离所需要的处理时间和成本的同时对抗蚀剂进行剥离的剥离方法。用于剥离在基板上成膜的抗蚀剂的抗蚀剂剥离方法包括：预处理工序，使抗蚀剂在规定温度范围的加热蒸气中暴露规定时间；以及剥离处理工序，使用抗蚀剂剥离液对在预处理工序中暴露于加热蒸气的抗蚀剂进行剥离处理，其中，规定温度范围和规定时间是基于抗蚀剂来进行设定的。
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公开(公告)号：CN112154125B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN201980034211.8
申请日：2019-05-24
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 渡边祥生
IPC分类号： C02F1/469 , B01D61/00 , B01D61/48 , B01D61/58 , C02F1/20 , C02F1/42 , C02F1/44 , C02F9/00 , C02F103/04
摘要： 目的是提供一种能够使硼除去性能及离子成分的除去效率改善的电去离子装置及使用它的超纯水制造系统、以及超纯水制造方法。一种电去离子装置，具有：阳极；阴极；电去离子堆，被配置在上述阳极与上述阴极之间，具有与上述阳极接触的阳极室、与上述阴极接触的阴极室、交替地配置在上述阳极室与上述阴极室之间的负离子交换膜及正离子交换膜、交替地形成在上述负离子交换膜及上述正离子交换膜之间的浓缩室及脱盐室、和被填充在上述脱盐室内的离子交换体；以及电源装置，向上述阳极与上述阴极之间施加直流电压；上述直流电压当设其规定的期间的最大电压为Vmax，设最小电压为Vmin时，满足关系式：(Vmax－Vmin)/(Vmax+Vmin)≦0.3。
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公开(公告)号：CN115667094A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180039357.9
申请日：2021-06-25
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 山本克美
摘要： 提供能够抑制密封气体的供给时的动压的影响，并能够高效并且稳定地进行气相部的压力调整的气体密封罐。气体密封罐(10)具有：能够密闭的收容容器(11)，用于使液体(50)与由密封气体构成的气相部(60)接触并收容液体(50)；密封气体排气装置(12)，在收容容器(11)内的气相部(60)的压力比规定的排气开始压力高时，对收容容器(11)内的密封气体进行排气；以及密封气体供给装置(13)，向收容容器(11)内的气相部(60)供给密封气体，密封气体供给装置(13)具有密封气体供给口(13a)，密封气体供给口(13a)设为使其供给的密封气体的供给方向相对于液体(50)的液面(50a)为平行或者锐角。
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公开(公告)号：CN112424128A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201980046915.7
申请日：2019-08-09
申请人： 野村微科学股份有限公司
摘要： 本发明提供能够长时间稳定地制造高水质的纯水的纯水制造系统及纯水制造方法。本发明的纯水制造系统的特征在于，其是具备反渗透膜装置、紫外线氧化装置、电去离子装置及将这些装置依次连接的处理水管的纯水制造系统，其中，上述电去离子装置具备：交替地配置的阳离子交换膜及阴离子交换膜；交替地形成于上述阳离子交换膜及阴离子交换膜之间的浓缩室及脱盐室；以及配置于上述阳离子交换膜及阴离子交换膜的外侧的一对电极室，上述处理水管按照将上述紫外线氧化装置的处理水供给至上述电去离子装置的至少脱盐室的方式与上述电去离子装置连接，并且上述纯水制造系统具备将上述反渗透膜装置的透过水不经由上述紫外线氧化装置地供给至上述电去离子装置的电极室的第1旁通管。
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公开(公告)号：CN112203988A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201980033935.0
申请日：2019-05-24
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 中村清一
摘要： 目的是提供一种在离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置具备多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部。多个分支流路使被处理水的流路分支并在下游侧合流。多个离子交换装置分别设在多个分支流路上，分别具有离子交换树脂。多个开闭阀分别设在各个分支流路上的各个离子交换装置的前后。开度变更部将开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。
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公开(公告)号：CN109564864A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780048200.6
申请日：2017-07-11
申请人： 野村微科学股份有限公司
发明人： 自在丸隆行
CPC分类号： C02F9/00 , B01D61/00 , B01F1/00 , B01F3/04262 , B01F2003/04404 , B01F2003/04914 , C02F1/20 , C02F1/66 , C02F1/68 , C02F1/685 , C02F1/78 , C02F2103/04 , C02F2103/346 , H01L21/02052 , H01L21/304
摘要： 本发明提供能够抑制来源于气体溶解膜装置的微粒向氢水中混入的碱水的制造方法及制造装置。一种电子设备洗涤用的碱水的制造装置，其具备：将超纯水调整为碱性的pH调整装置(11)、将调整为碱性的超纯水进行脱气的脱气装置(13)和在脱气后的超纯水中介由气体溶解膜使功能性气体溶解的气体溶解膜装置(14)。
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公开(公告)号：CN101558298A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200780044034.9
申请日：2007-11-26
申请人： 野村微科学股份有限公司
CPC分类号： G01N31/22
摘要： 本发明提供一种可简便且现场对含在样品液中的超微量的镍及/或铜进行定量的定量方法、以及该方法所用的装置。镍及/或铜的定量方法具备：在含有未知浓度的镍及/或铜的样品液中添加用于与镍及铜形成络合物的络合物形成剂，从而形成显色的微粒状的镍络合物及/或铜络合物的工序；和从显色的微粒状的镍络合物及/或铜络合物中对镍及/或铜进行定量的工序。
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公开(公告)号：CN101547741A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200780044905.7
申请日：2007-11-30
申请人： 野村微科学股份有限公司
摘要： 本发明提供一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其从在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液中除去螯合物，并且使洗涤负荷减轻。在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法中，通过用有机络合物吸附体来处理碱性药液，将由上述药液中含有的镍、铜等杂质金属形成的螯合物除去。
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