公开(公告)号：CN112154125B

公开(公告)日：2023-02-24

申请号：CN201980034211.8

申请日：2019-05-24

申请人： 野村微科学股份有限公司

发明人： 渡边祥生

IPC分类号： C02F1/469 ,  B01D61/00 ,  B01D61/48 ,  B01D61/58 ,  C02F1/20 ,  C02F1/42 ,  C02F1/44 ,  C02F9/00 ,  C02F103/04

摘要： 目的是提供一种能够使硼除去性能及离子成分的除去效率改善的电去离子装置及使用它的超纯水制造系统、以及超纯水制造方法。一种电去离子装置，具有：阳极；阴极；电去离子堆，被配置在上述阳极与上述阴极之间，具有与上述阳极接触的阳极室、与上述阴极接触的阴极室、交替地配置在上述阳极室与上述阴极室之间的负离子交换膜及正离子交换膜、交替地形成在上述负离子交换膜及上述正离子交换膜之间的浓缩室及脱盐室、和被填充在上述脱盐室内的离子交换体；以及电源装置，向上述阳极与上述阴极之间施加直流电压；上述直流电压当设其规定的期间的最大电压为Vmax，设最小电压为Vmin时，满足关系式：(Vmax－Vmin)/(Vmax+Vmin)≦0.3。

公开(公告)号：CN112154125A

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201980034211.8

申请日：2019-05-24

申请人： 野村微科学股份有限公司

发明人： 渡边祥生

IPC分类号： C02F1/469 ,  B01D61/00 ,  B01D61/48 ,  B01D61/58 ,  C02F1/20 ,  C02F1/42 ,  C02F1/44 ,  C02F9/02 ,  C02F9/04 ,  C02F9/06

摘要： 目的是提供一种能够使硼除去性能及离子成分的除去效率改善的电去离子装置及使用它的超纯水制造系统、以及超纯水制造方法。一种电去离子装置，具有：阳极；阴极；电去离子堆，被配置在上述阳极与上述阴极之间，具有与上述阳极接触的阳极室、与上述阴极接触的阴极室、交替地配置在上述阳极室与上述阴极室之间的负离子交换膜及正离子交换膜、交替地形成在上述负离子交换膜及上述正离子交换膜之间的浓缩室及脱盐室、和被填充在上述脱盐室内的离子交换体；以及电源装置，向上述阳极与上述阴极之间施加直流电压；上述直流电压当设其规定的期间的最大电压为Vmax，设最小电压为Vmin时，满足关系式：(Vmax－Vmin)/(Vmax+Vmin)≦0.3。