发明授权
- 专利标题： 添加了螯合剂的药液的精制方法
-
申请号： CN200780044905.7申请日： 2007-11-30
-
公开(公告)号： CN101547741B公开(公告)日： 2012-02-01
- 发明人: 饭山真充 , 阿部嗣
- 申请人： 野村微科学股份有限公司
- 申请人地址： 日本神奈川
- 专利权人： 野村微科学股份有限公司
- 当前专利权人： 野村微科学股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本神奈川
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 白丽; 陈建全
- 优先权： 327624/2006 2006.12.04 JP
- 国际申请： PCT/JP2007/073192 2007.11.30
- 国际公布： WO2008/069136 JA 2008.06.12
- 进入国家日期： 2009-06-04
- 主分类号： B01J41/04
- IPC分类号： B01J41/04 ; B01J47/10 ; B01J47/12 ; B24B37/00 ; B24B57/02 ; H01L21/304
摘要：
本发明提供一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其从在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液中除去螯合物，并且使洗涤负荷减轻。在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法中，通过用有机络合物吸附体来处理碱性药液，将由上述药液中含有的镍、铜等杂质金属形成的螯合物除去。
公开/授权文献
- CN101547741A 添加了螯合剂的药液的精制方法 公开/授权日：2009-09-30
