公开(公告)号：CN118043122A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202280066341.1

申请日：2022-07-20

申请人： 野村微科学股份有限公司

发明人： 山本克美 ,  鬼头贵次 ,  佐藤信介 ,  鸟村修平

IPC分类号： B01D61/00 ,  B01D19/00 ,  C02F9/00 ,  C02F1/28 ,  C02F1/32 ,  C02F1/42 ,  C02F1/44 ,  C02F1/20 ,  C02F101/30

摘要： 在液封真空泵的运转方法中，从与液封真空泵28连接的真空配管30排出液体；对密封液进行加压供给，使液封真空泵28中充满规定量，并且驱动液封真空泵28，直至真空配管30的压力减小到规定压力；以及当真空配管30的压力减小至规定压力时，停止向液封真空泵28供给经加压后的密封液，使密封液从液封真空泵28在循环流路40中循环，维持密封液在液封真空泵28中存在规定量的状态。

公开(公告)号：CN118103335A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202280069478.2

申请日：2022-09-01

申请人： 野村微科学股份有限公司

发明人： 阿部俊和 ,  铃木规彦 ,  鸟村修平 ,  鬼头贵次

IPC分类号： C02F1/20 ,  B01D19/00 ,  B01D61/44 ,  C02F1/44 ,  C02F1/469

摘要： 一种电极水的回收方法，所述电极水的回收方法在超纯水制造工序中，被处理水通过电去离子处理中的阴极室生成电极水，从所述电极水中除去氢气并进行回收，将电极水散布在填充于洗涤器中的填充物上，且从填充物的下方供给惰性气体，使惰性气体与电极水中的氢气反应，将通过该反应生成的处理气体从填充物上方的排气口进行排气，回收除去了氢气的处理水。