石英晶片谐振频率的整盘频率补偿和整盘散差统计方法

    公开(公告)号:CN111230724B

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202010043530.X

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种石英晶片谐振频率的整盘频率补偿和整盘散差统计方法,包括以下步骤:流程开始,判断本次扫频采样是否完成,若已完成,进入晶片区分和数据处理流程,完成后,进入连续圈转速是否稳定判断流程;若未完成,进入连续圈转速是否稳定判断流程;判定连续圈转速是否稳定,若是,进一步判定本圈内本段定时时间是否到;若否,进行圈数进入判定;判定本圈内本段定时时间是否到,若是,进行本圈内本段定时时间到数据处理流程;若否,进行圈数进入判定;判定是否圈数进入,若是,进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程,然后进入实时频率处理流程;若否,直接进入实时频率处理流程;判定是否需要停机,若是,关停研磨机,流程结束。

    基于波形匹配的石英晶片研磨控制与测频方法

    公开(公告)号:CN108710025B

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201810502299.9

    申请日:2016-01-22

    Abstract: 本发明公开了基于波形匹配的石英晶片研磨控制与测频方法,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

    基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法

    公开(公告)号:CN111230725A

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN202010044287.3

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法,包括以下步骤:流程开始,判断本次扫频采样是否完成,若已完成,进入晶片区分和数据处理流程,完成后,进入连续圈转速是否稳定判断流程;若未完成,进入连续圈转速是否稳定判断流程;判定连续圈转速是否稳定,若是,进一步判定本圈内本段定时时间是否到;若否,进行圈数进入判定;判定本圈内本段定时时间是否到,若是,进行本圈内本段定时时间到数据处理流程;若否,进行圈数进入判定;判定是否圈数进入,若是,进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程,然后进入实时频率处理流程;若否,直接进入实时频率处理流程;判定是否需要停机,若是,关停研磨机,流程结束。

    石英晶片谐振频率的整盘频率补偿方法和整盘散差统计方法

    公开(公告)号:CN111230724A

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN202010043530.X

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种石英晶片谐振频率的整盘频率补偿方法和整盘散差统计方法,包括以下步骤:流程开始,判断本次扫频采样是否完成,若已完成,进入晶片区分和数据处理流程,完成后,进入连续圈转速是否稳定判断流程;若未完成,进入连续圈转速是否稳定判断流程;判定连续圈转速是否稳定,若是,进一步判定本圈内本段定时时间是否到;若否,进行圈数进入判定;判定本圈内本段定时时间是否到,若是,进行本圈内本段定时时间到数据处理流程;若否,进行圈数进入判定;判定是否圈数进入,若是,进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程,然后进入实时频率处理流程;若否,直接进入实时频率处理流程;判定是否需要停机,若是,关停研磨机,流程结束。

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