复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104692318B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201510134205.3

    申请日:2015-03-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法,该点火器自下而上依次包括SiO2底层、腔层、防漏SiO2层、二次辐射层、绝缘SiO2层、下电极Au层、CuO层、Al层和上电极Au层。SiO2底层、腔层、防漏SiO2层和二次辐射层构成类黑体聚能结构;腔层中腔的结构为中空锥形以汇聚能量、减少器件整体热容和使二次辐射层悬浮起来。CuO层和Al层构成含能金属桥膜。本发明增加类黑体聚能结构后,减少了含能金属桥膜MEMS点火器的热耗散,提高了点火输出;也缩短了热积累时间,从而减少点火延迟时间,提高了点火瞬发性;另外微加工实现容易,利于其集成。

    一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN104216111B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201410532691.X

    申请日:2014-10-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜,具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构,包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层;正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔;正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面;正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。

    摩擦-压电-磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器

    公开(公告)号:CN105356790A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510781913.6

    申请日:2015-11-16

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: H02N2/186 H02K35/02 H02N1/04

    Abstract: 本发明涉及对机械能的能量采集技术,具体为一种摩擦-压电-磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器,由外至内依次包含电磁感应线圈、外球壳、缓冲层、压电层、摩擦层、内球壳和磁铁球。各线圈之间采用串联方式连接;外球壳与压电层之间隔有缓冲层,目的在于增大压电的形变量,进而提高其发电能力;摩擦单元中的正性材料与负性材料相间排列,所有正性材料连接在一起,所有负性材料连接在一起,正性材料与负性材料之间的电荷转移通过运动单元在二者间的滚动实现。利用运动单元在空心球壳内的三维空间滚动,从而实现对具有多自由度的运动形式进行机械能采集;通过将具有互补工作模式的压电、磁电、摩擦三种发电单元集成,实现对机械能的高效采集。

    自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置

    公开(公告)号:CN103592466B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201310637072.2

    申请日:2013-12-03

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术,具体是一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置。本发明解决了现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备标定校准耗时多、标定校准效率低、以及标定校准能力有限的问题。自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置,包括自动加载平台、反馈式自动翻滚平台、控制系统、数据采集系统;所述自动加载平台包括竖直加载平台、水平加载平台、槽型底座;所述竖直加载平台包括左竖直电机、左竖直丝杠副、左竖直导轨副、左L型底板、右竖直电机、右竖直丝杠副、右竖直导轨副、右L型底板;所述反馈式自动翻滚平台包括半封闭槽型载台、倾角传感器。本发明适用于MEMS加速度传感器的标定校准。

    一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN104216111A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201410532691.X

    申请日:2014-10-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜,具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构,包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层;正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔;正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面;正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。

    基于压电-摩擦效应的高电学性能纳米发电机的制备方法

    公开(公告)号:CN103490005A

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201310376298.1

    申请日:2013-08-27

    Abstract: 本发明为一种基于压电-摩擦效应的高电学性能纳米发电机的制备方法,利用压电效应与摩擦效应结合来制备小面积、高输出电压的纳米发电机。本发明方法是将一定比例的CNT颗粒和压电颗粒混入液态PDMS制成复合薄膜,在复合薄膜表面用微加工的方法制作具有规则的微纳凹凸结构,最后将复合薄膜电极化并夹设电极即完成。本发明方法结合压电和摩擦的优势,制备出小面积、高灵敏度、高电压输出的压电-摩擦纳米发电机这种纳米发电机制造成本低廉,工艺简单,具有极好的耐久性和可加工性,能很方便地进行大规模生产与应用,可轻松融入其他产品的设计当中。为个人电子产品、环境监控、医学科学等提供自供电和自驱动设备,有着巨大的商用和实用潜力。

    基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器

    公开(公告)号:CN103245409A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201310133886.2

    申请日:2013-04-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及MEMS矢量水声传感器,具体是一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器。本发明解决了现有MEMS矢量水声传感器抗流噪声性能差、灵敏度低、抗冲击性能差、质量重、声阻抗与水不匹配、以及加工制作困难的问题。基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器包括基底、框形基座、悬臂梁、质量块、空心玻璃柱体、内侧PZT压电薄膜、以及外侧PZT压电薄膜;其中,框形基座的下端面键合于基底的上表面;悬臂梁的外端面固定于框形基座的内表面;质量块固定于悬臂梁的内端面,且质量块的上表面中央垂直开设有圆孔;空心玻璃柱体的下端键合于圆孔内;内侧PZT压电薄膜旋涂于悬臂梁的内端上表面。本发明适用于水声传感。

    一种高稳定性磁性功能颗粒及其制备方法

    公开(公告)号:CN103219118A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310022311.3

    申请日:2013-01-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种高稳定的可控回收磁性功能颗粒及其制备方法。所述高稳定可控回收磁性功能颗粒的制备方法,包括以下步骤:步骤1,通过高温碳还原工艺加工制成C/Fe3O4磁性颗粒;步骤2,通过溶胶一凝胶法向所述C/Fe3O4磁性颗粒包覆SiO2,制成所述高稳定可控回收磁性功能颗粒。本发明的高稳定性磁性功能颗粒其中心是Fe3O4磁核,Fe3O4磁核外层包裹一层碳纤维层,最外层包裹SiO2层。本发明优点主要有:原料简单,制备工艺操作简单,无需添加保护剂等,有效防止引入其他物质,分散性好,稳定性高,具有良好的生物相容性、亲水性以及非常好的稳定性,可以用于工业大规模生产。

    一种弹道特征温度传感测试方法

    公开(公告)号:CN102095525B

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN201010595306.8

    申请日:2010-12-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种弹道特征温度传感测试方法,包括以下步骤:(1)获取弹道环境下弹体各关键点的温度变化规律;(2)依据所述的温度变化规律,制备铅基反铁电厚膜材料;(3)采用所述反铁电厚膜材料进行微型化传感测试系统搭建;(4)将所述微型化传感测试系统贴片封装于弹体的不同关键区域,进行弹道特征温度的传感测试验证。

Patent Agency Ranking