MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN1217195C

    公开(公告)日:2005-08-31

    申请号:CN03104781.5

    申请日:2003-02-28

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS压阻式伺服加速度传感器。包括三片硅片,三片硅片组成上硅帽、中间硅片和下硅帽的三明治结构,上下两层硅帽上均设反馈电极,中间硅片上设梁式结构,梁上设压敏电阻,组成惠斯登电桥来检测加速度信号,信号调制电路将电桥产生的输出电压变换成反馈电压作用于传感器的静电力反馈极板上形成闭环伺服检测。以及制备这种传感器的方法。可广泛应用于MEMS技术领域。

    压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法和流量计

    公开(公告)号:CN1431470A

    公开(公告)日:2003-07-23

    申请号:CN03104785.8

    申请日:2003-02-28

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明的提供了一种压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法。芯片周边为硅框架,中心为一带穿通图形的硅膜片,膜片中心的多孔区构成了一个网状结构拉住四块应变膜片,四块应变膜片用于设置两对垂直摆放的应变电阻。芯片制备方法是以常规压阻式压力计的芯片为基片,一次光刻制备出穿通膜片图形的掩膜,之后在进行高深宽比硅刻蚀来形成穿通的膜片结构。本发明还提供了采用所述芯片的微型气体流量计,是将芯片粘片在衬底打孔的TO管壳封装后作为流量计使用,或者采用专用的塑料封装方式。由于采用了MEMS技术,本发明的微型气体流量计具有体积小、结构简单、精度高、输出信号处理容易、适合于大批量低成本的制造等特点。

    一种用于表面工艺多晶硅结构释放的工艺

    公开(公告)号:CN1211064A

    公开(公告)日:1999-03-17

    申请号:CN98102573.0

    申请日:1998-07-03

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明是一种用于表面工艺多晶硅结构释放的工艺。通常采用的表面牺牲层工艺,在腐蚀后的清洗干燥过程中,多晶硅结构由于处理液的张力会粘附到衬底上。本发明在多晶硅结构制备的过程中,同时形成许多与衬底相连的多晶硅支柱;并分别利用氮化硅薄膜及光刻胶作为两次掩膜,或两次都利用光刻胶作为掩膜,腐蚀牺牲层,干法刻出多晶硅结构,并同时把多晶硅支柱去除。本发明立足于版图设计,彻底克服了粘附效应,适合于批量生产。

    用于手术显微镜目镜端的激光保护装置

    公开(公告)号:CN215019284U

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202120962209.1

    申请日:2021-05-07

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于手术显微镜目镜端的激光保护装置,包括可伸缩主体(2)、弹力夹(3)和两个激光防护镜片(1),所述可伸缩主体(2)上设置有两个目镜连接筒(4),两个所述激光防护镜片(1)分别固定安装在两个所述目镜连接筒(4)内,两个所述目镜连接筒(4)用于与显微镜目镜连接,所述可伸缩主体(2)的一侧设置有所述弹力夹(3),所述弹力夹(3)用于夹持所述显微镜目镜。本实用新型无需手术者直接佩戴,而且具有通用性,可适用于所有手术者的框距,为手术者提供方便,有效提高手术效率。

    对准键合精度检测装置
    156.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2665694Y

    公开(公告)日:2004-12-22

    申请号:CN03242701.8

    申请日:2003-03-27

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种对准键合精度检测装置,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本实用新型利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力,CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量,以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点,将其与显微镜结合成一体,为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质量监控中,还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。

    动脉压迫止血器
    157.
    外观设计

    公开(公告)号:CN309014155S

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202430242512.3

    申请日:2024-04-26

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:动脉压迫止血器。
    2.本外观设计产品的用途:用于压迫体表动脉进行止血。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。

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