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公开(公告)号：CN102393613B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110378087.2
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、回转换台齿轮以及旋转连接件构成的回转换台装置，在第一工件台腰部设置第一工件台旋转环套，在侧面底部设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮；在第二工件台腰部设置第二工件台旋转环套，在侧面底部设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；回转换台装置与工件台转接装置对接后，带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换；本发明解决了现有回转换台方式工件台相位反转，线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，且转动惯量小，换台时间更短，提高了工件台的运行效率和光刻机产率。
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公开(公告)号：CN102508414B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377700.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、嵌入基台内的旋转平台以及回转换台齿轮构成的回转换台装置，在旋转平台上设置有可升降的第一轴接装置和第二轴接装置，第一工件台底部设置第一工件台旋转轴，侧面设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮，第二工件台底部设置第二工件台旋转轴，侧面设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；本发明在双台切换过程中，工件台朝向始终不变，解决了现有回转换台方案的线缆不便安装和干涉仪丢失目标的问题，同时本发明具体实施过程中具有转动惯量小，相同换台时间下所需转矩小等优点。
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公开(公告)号：CN103075618A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210574056.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103062321A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210578291.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062316A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575830.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16F6/00 , G03F7/20
Abstract: 柔性膜角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103062313A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575403.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062308A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575185.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062293A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574545.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒通过静压气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062282A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210571682.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047361A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210578284.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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