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公开(公告)号:CN112162146B
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN202010942406.7
申请日:2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种在线研磨测频系统,包括测频测试功能和在线测频功能;测频测试功能包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能;在线测频功能包括自动搜索功能和跟踪测频功能;本发明提供了一种处理效率高、处理精度高,双模频率精准区分的一种在线研磨测频系统。
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公开(公告)号:CN112330599A
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN202011103725.5
申请日:2020-10-15
Applicant: 浙江大学台州研究院
Abstract: 一种尺寸测量评分装置及调节方法和评分方法,其中尺寸测量评分装置包括固定架、操作台、检测台、光源以及相机;所述检测台、光源以及相机设置于固定架;检测台的中间部位设置有通孔,在通孔处设置有载物板,载物板为透明材质;光源设置于检测台下方,与载物板对应设置;相机设置于载物板的正上方的相机固定板;操作台与光源以及相机电性连接;相机和检测台之间设置有标准平晶;相机的镜头处设置有远心同轴镜头,远心同轴镜头的侧面设置有He‑Ne激光器;通过在相机和载物板之间设置标准平晶,并且在载物板的四个角上设置微调节旋钮,在相机上设置He‑Ne激光器,实现相机的镜头和载物板之间的平行设置。
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公开(公告)号:CN112162150A
公开(公告)日:2021-01-01
申请号:CN202010943412.4
申请日:2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试系统,包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能;本发明提供了一种处理效率高、操作便捷,数据精度高,双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试系统。
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公开(公告)号:CN112162146A
公开(公告)日:2021-01-01
申请号:CN202010942406.7
申请日:2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种在线研磨测频系统,包括测频测试功能和在线测频功能;测频测试功能包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能;在线测频功能包括自动搜索功能和跟踪测频功能;本发明提供了一种处理效率高、处理精度高,双模频率精准区分的一种在线研磨测频系统。
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公开(公告)号:CN111210479A
公开(公告)日:2020-05-29
申请号:CN202010003187.6
申请日:2020-01-02
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G06T7/80
Abstract: 本发明提供一种用于不同高度零件尺寸测量时的激光辅助标定方法,标定方法步骤为:通过调节激光角度使三台激光器均激光照射在测量面上,采集一张基准图像并保存为灰度图像,移除标定物并放置上多维平移台,读取基准图像设为暗色通道,实时采集当前灰度图像并设置为亮色通道,暗色通道图像与亮色通道图像实时合成图像,放置标定板于平移台上采集图像,提取标定板角点信息,最后计算理想情况下的相机内外参数,使用最小二乘法得到径向畸变的畸变系数;本发明可对各种不同高度、外观的零件检测面准确标定,且能准确定位到测量物的检测面,提高了标定的精度。
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公开(公告)号:CN108705442B
公开(公告)日:2019-10-18
申请号:CN201810500285.3
申请日:2016-01-22
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/005
Abstract: 本发明公开了基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。
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公开(公告)号:CN108655945B
公开(公告)日:2019-10-18
申请号:CN201810502283.8
申请日:2016-01-22
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/005
Abstract: 本发明公开了一种基于波形匹配的石英晶片研磨控制系统,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。
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公开(公告)号:CN109940506A
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201910240598.4
申请日:2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法,包括以下步骤:流程开始,判断本次扫频采样是否完成,若已完成,进入晶片区分和数据处理流程,完成后,进入连续圈转速是否稳定判断流程;若未完成,进入连续圈转速是否稳定判断流程;判定连续圈转速是否稳定,若是,进一步判定本圈内本段定时时间是否到;若否,进行圈数进入判定;判定本圈内本段定时时间是否到,若是,进行本圈内本段定时时间到数据处理流程;若否,进行圈数进入判定;判定是否圈数进入,若是,进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程,然后进入实时频率处理流程;若否,直接进入实时频率处理流程;判定是否需要停机,若是,关停研磨机,流程结束。
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公开(公告)号:CN105866540A
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201610271878.8
申请日:2016-04-28
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02
CPC classification number: G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种石英晶片研磨在线测频系统,包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块。本发明用基于DDS技术的π网络最大传输法检测原理增强了系统的抗干扰性,解决现有ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题。本发明所有频段采用统一的π网络接口电路,解决现有ALC系统不同频段需要更换探测头的缺陷,降低射频接头频繁插拔导致的电学故障风险,增强系统工作稳定性,能够显著提升晶片研磨质量和产品品质稳定性。本发明的硬件系统方案不仅能够覆盖目前晶片研磨生产所涉及的所有频段,而且只需要通过算法参数上修改就能兼容石英晶片的所有切型。
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公开(公告)号:CN118729944A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202411031995.8
申请日:2024-07-30
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于运动扫描和图像采集的轴类零件测量方法,该方法基于轴类零件测量系统,系统包括上位机、下位机、上料装置、传输装置、顶升装置、视觉系统、夹爪装置、下料装置,上位机通过下位机控制上料装置、传输装置、顶升装置、视觉系统、夹爪装置、下料装置执行动作,上位机包括数据库、数据采集模块、系统状态监控模块、人机交互模块,本发明通过轴类零件测量装置实现零件尺寸的自动检测以及当个零件的多种尺寸类型的自动检测,同时自动区分零件的质量以及根据质量自动下料的全自动检测过程,相较于现有的检测方式,本发明大大提高了零件检测的效率。
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