基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法

    公开(公告)号:CN108705442B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201810500285.3

    申请日:2016-01-22

    Abstract: 本发明公开了基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

    一种基于波形匹配的石英晶片研磨控制系统

    公开(公告)号:CN108655945B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201810502283.8

    申请日:2016-01-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于波形匹配的石英晶片研磨控制系统,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

    基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法

    公开(公告)号:CN109940506A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910240598.4

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法,包括以下步骤:流程开始,判断本次扫频采样是否完成,若已完成,进入晶片区分和数据处理流程,完成后,进入连续圈转速是否稳定判断流程;若未完成,进入连续圈转速是否稳定判断流程;判定连续圈转速是否稳定,若是,进一步判定本圈内本段定时时间是否到;若否,进行圈数进入判定;判定本圈内本段定时时间是否到,若是,进行本圈内本段定时时间到数据处理流程;若否,进行圈数进入判定;判定是否圈数进入,若是,进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程,然后进入实时频率处理流程;若否,直接进入实时频率处理流程;判定是否需要停机,若是,关停研磨机,流程结束。

    石英晶片研磨在线测频系统

    公开(公告)号:CN105866540A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610271878.8

    申请日:2016-04-28

    CPC classification number: G01R23/02

    Abstract: 本发明公开了一种石英晶片研磨在线测频系统,包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块。本发明用基于DDS技术的π网络最大传输法检测原理增强了系统的抗干扰性,解决现有ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题。本发明所有频段采用统一的π网络接口电路,解决现有ALC系统不同频段需要更换探测头的缺陷,降低射频接头频繁插拔导致的电学故障风险,增强系统工作稳定性,能够显著提升晶片研磨质量和产品品质稳定性。本发明的硬件系统方案不仅能够覆盖目前晶片研磨生产所涉及的所有频段,而且只需要通过算法参数上修改就能兼容石英晶片的所有切型。

    一种基于运动扫描和图像采集的轴类零件测量方法

    公开(公告)号:CN118729944A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202411031995.8

    申请日:2024-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于运动扫描和图像采集的轴类零件测量方法,该方法基于轴类零件测量系统,系统包括上位机、下位机、上料装置、传输装置、顶升装置、视觉系统、夹爪装置、下料装置,上位机通过下位机控制上料装置、传输装置、顶升装置、视觉系统、夹爪装置、下料装置执行动作,上位机包括数据库、数据采集模块、系统状态监控模块、人机交互模块,本发明通过轴类零件测量装置实现零件尺寸的自动检测以及当个零件的多种尺寸类型的自动检测,同时自动区分零件的质量以及根据质量自动下料的全自动检测过程,相较于现有的检测方式,本发明大大提高了零件检测的效率。

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