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公开(公告)号：CN112162146B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202010942406.7
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种在线研磨测频系统，包括测频测试功能和在线测频功能；测频测试功能包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能；在线测频功能包括自动搜索功能和跟踪测频功能；本发明提供了一种处理效率高、处理精度高，双模频率精准区分的一种在线研磨测频系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112162146A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010942406.7
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种在线研磨测频系统，包括测频测试功能和在线测频功能；测频测试功能包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能；在线测频功能包括自动搜索功能和跟踪测频功能；本发明提供了一种处理效率高、处理精度高，双模频率精准区分的一种在线研磨测频系统。
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公开(公告)号：CN112180160B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202010942378.9
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法，包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能；本发明提供了一种处理效率高、操作便捷，数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法。
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公开(公告)号：CN112162147B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202010942412.2
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试的波形匹配方法，具体过程如下：1.1)参数设置步骤、1.2)扫频准备步骤、1.3)波形匹配步骤、1.4)数据处理步骤；本发明提供了一种处理效率高、操作便捷，数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试的波形匹配方法。
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公开(公告)号：CN112180160A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010942378.9
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试系统，包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能；本发明提供了一种处理效率高、操作便捷，数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试系统。
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公开(公告)号：CN112162147A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010942412.2
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试的波形匹配方法，具体过程如下：1.1)参数设置步骤、1.2)扫频准备步骤、1.3)波形匹配步骤、1.4)数据处理步骤；本发明提供了一种处理效率高、操作便捷，数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试的波形匹配方法。
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