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公开(公告)号：CN119576052A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411703308.2
申请日：2024-11-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆快速加热工艺的温度控制的开闭环过渡方法及装置，该方法在开环模式下对晶圆进行初步加热，达到初始温度基线；然后实施低温闭环PID控制方法，并计算每个测温点的升温速度，与预设的目标升温速度进行比较，基于升温速度差异设计PID控制策略，以调整加热速率，使升温速度平滑达到目标值；之后设计PID参考曲线调整晶圆外圈温度，对晶圆外圈温度进行修正；并根据不同晶圆特性及环境气压变化，自动调整开环和闭环过渡阶段的PID参考曲线。本发明解决了晶圆快速加热工艺中晶圆在开环闭环过渡阶段辐射率下降的问题，修正温度数值并设计曲线平滑，晶圆的辐射率比原有工艺更加平稳，并具有一定的通用性。
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公开(公告)号：CN119542163A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411527453.X
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L21/66 , H01L21/67 , B07C5/34 , G06F18/2411 , G06F18/214
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法及装置，获取若干种类的晶圆，加热一段时间获取温度变化数据构建数据集，温度变化数据包括辐射率、加热后的温度值以及加热过程中具有分辨力的温度差值，基于数据集训练支持向量机；对需要进行分类的晶圆加热相同的时间，将获取的温度变化数据输入训练完成后的支持向量机，得到晶圆类别，根据得到的晶圆类别实施快速加热工艺。本发明显著提升了晶圆快速加热工艺中的分类准确性和生产效率，降低了生产成本，提高了产品一致性和质量，在半导体制造领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN118858347A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410941397.8
申请日：2024-07-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/2251 , G05D27/02
Abstract: 本发明公开了一种扫描电镜原位气体反应装置及控制方法，所述装置包括：设置在扫描电镜舱室外的若干气瓶、若干气管、混气盘、通气软管和设置在扫描电镜舱室内的反应台；所述混气盘包括：气体混合舱室以及设置在气体混合舱室上的若干进气管道和一根送气管道；所述若干气瓶出气口均与单独的气管一端连通，气管另一端与进气管道连通；所述送气管道与通气软管一端连接；所述通气软管另一端固定在反应台上，用于通气软管通气后给反应台上的样品形成局部气体环境。本发明可以安装在任意常规扫描电镜上，无需对电镜结构进行改动，即可实现样品环境气氛10‑4～10‑2Pa原位气体反应，对于原位电镜技术的低成本推广有非常重要的意义。
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公开(公告)号：CN115888693B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202211312192.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种负载式锰/铈低温蜂窝脱硝催化剂及其制备方法，涉及催化剂制备和环保领域。所述负载式锰/铈低温蜂窝脱硝催化剂以二氧化铈(CeO2)和氧化锰(MnOx)为主要活性成分，以成型的蜂窝载体为基体材料。该负载式锰/铈低温蜂窝脱硝催化剂通过将成型的蜂窝载体浸渍于金属盐溶液中，在高真空条件下进行循环浸渍与焙烧，最终制备出所需催化剂。本发明的负载式锰/铈低温蜂窝脱硝催化剂已经在实际水泥窑烟气管道进行中试性能评测，呈现出优异的低温脱硝性能与稳定性。本发明所述负载式锰/铈低温蜂窝脱硝催化剂不仅制备方法简单，活性组分所采用的材料均为环境友好型材料，对环境污染小，还填补了国内负载式锰/铈低温蜂窝脱硝催化剂工业化应用的空白。
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公开(公告)号：CN118416302A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410297783.8
申请日：2024-03-15
Applicant: 浙江大学金华研究院
Abstract: 本发明公开了一种模拟人骨电磁特性的溶液及其制备方法和应用。方法包括：将明胶与纯净水充分混合后静置获得混合物；将混合物进行水浴加热后获得明胶溶液；向明胶溶液中加入无水磷酸氢钙和生理氯化钠溶液并搅拌混匀获得混合物溶液；将混合物溶液冷冻从而制备获得具有人骨电磁特性的胶状溶液。本发明制得的溶液的电磁特性与实际人骨的电磁特性基本一致，能够应用于填充可模拟人体脊柱椎弓根手术的脊柱模型；脊柱模型能够让医生将椎弓根开路器以不同的角度和方向插入到脊柱模型内部，使医生可以较为简单方便地模拟演示人体脊柱椎弓根手术，可以有效增加医生的经验，使其在手术时可以发挥得更稳定，进而提高手术成功率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118174041A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410448437.5
申请日：2024-04-15
Applicant: 浙江大学
IPC: H01Q15/14
Abstract: 本发明公开了一种机械动态可调的电磁波反射面单元及阵列式反射面，属于无线通信领域。该反射面单元包括外框、内框、反射片、外舵机、内舵机、外齿轮组和内齿轮组；外舵机与外齿轮连接，用于驱动内框旋转，内框的旋转会带动反射片转动；内舵机与内齿轮连接，用于驱动反射片转动；外舵机与内舵机的运动互不干涉，使得反射片具有两个自由度的旋转能力，即：绕着水平、竖直两个互相垂直的轴心转动。若干反射面单元通过外框向四周紧密排列，构成阵列式反射面。通过调控多个反射面单元的角度，改变电磁波的反射方向、投影轨迹等，用非电路结构实现了传统电路结构天线阵列的效果，降低了电磁波调控成本。
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公开(公告)号：CN118131211A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410333384.2
申请日：2024-03-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G01S13/52 , G01S13/50 , G01S13/88 , G01S13/06 , G01S7/02 , G06V10/75 , G06V20/40 , G06V40/20 , G06V10/762
Abstract: 本发明公开了一种基于人类活动视频的雷达点云数据合成方法，该方法包括四部分的内容，一是基于静止人体在雷达照射下的表现，对雷达点云进行多帧叠加，得到人体点云模板；二是设计了任意人体骨架和雷达点云的匹配算法；三是基于人体骨架径向速度计算和插值，为人体点云模板中的每个点附上多普勒特征；四是基于均匀分布和高斯分布，为人体点云模板进行点云位置和强度采样，得到单帧点云。本发明以人体骨架与雷达点云的相关性为基础，且不用训练任何神经网络，能够从人类活动视频合成人类雷达点云。
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公开(公告)号：CN117612178A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311513546.2
申请日：2023-11-14
Applicant: 国网信息通信产业集团有限公司 , 国网山东省电力公司济南供电公司 , 中国电力科学研究院有限公司 , 国网智能电网研究院有限公司 , 浙江大学 , 国网智能科技股份有限公司
Inventor： 张晓航 , 邱镇 , 卢大玮 , 王勇 , 刘晗 , 徐康 , 陈霞 , 梁栋 , 张纪伟 , 王晓辉 , 郭鹏天 , 李黎 , 陈勇 , 周飞 , 张国梁 , 王博 , 宋明黎 , 宋杰 , 王万国 , 袁弘
IPC: G06V30/148 , G06V30/19 , G06V10/82 , G06N3/0455
Abstract: 本申请实施例提供一种文档识别方法及装置，包括：获取文档图像；将文档图像输入预先构建的文档识别模型，由所述文档识别模型输出文档识别结果；其中，所述文档识别模型包括多层编码器、至少两个下采样层、特征金字塔和多层解码器，所述特征金字塔的特征图像包括其中一层编码器输出的第一尺度的特征图像、经过一个下采样层和多层编码器处理输出的第二尺度的特征图像和经过另一个下采样层和多层编码器处理输出的第三尺度的特征图像，所述特征金字塔用于对各特征图像融合处理后生成特征隐向量，多层解码器用于对所述特征隐向量处理后输出词元序列。本申请能够提高从文档图像识别文档内容的准确性。
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公开(公告)号：CN117599779A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311365579.7
申请日：2023-10-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种催化CO氧化的具有(1×2)‑(110)表面结构的Pt基催化剂及其制备方法，所述催化剂的制备方法为：将氧化物载体和铂源研磨负载，并在特定气氛下热处理后得到Pt‑载体粉体，再用CO和O2的混合气体在一定温度下煅烧处理一定时间，原位制备出一种高效催化CO氧化的Pt表面具有(1×2)结构的Pt基催化剂。本发明Pt基催化剂的特点在于：Pt纳米颗粒(110)表面出现的(1×2)结构改变了气体吸附行为，建立了分别利于吸附O2和解吸CO的双活性位点，在催化CO氧化时可以显著缓解Pt催化反应中的“CO中毒”问题。与其他结构的催化剂相比，这种具有(1×2)特殊结构的Pt基催化剂的CO催化氧化活性更优异，具有更实用的应用价值。
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公开(公告)号：CN117377027A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311355816.1
申请日：2023-10-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于集群机器人多模态信息的动态弹性组网方法及装置。该方法包括通信计算延时模型、动态分簇组网算法、突发状态通信连接快速恢复机制三部分的内容。通信计算延时模型囊括了传输路径多跳通信、拓扑切换、簇首汇聚业务对时延的影响，构建了多信息融合下的集群机器人节点间的通信计算时延模型；动态分簇组网算法包括簇建立和簇维护两部分。突发状态通信连接快速恢复机制表现在大型制造现场有遮挡的情况，会导致突发的通信中断。若簇首不能与控制台通信或簇节点与簇首不能通信，则对应簇节点变成自由状态并重新组簇、入簇以恢复连接。本发明解决了大型制造现场多遮挡、机器人节点依据任务随时移动和网络变簇时延问题。
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