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公开(公告)号：CN103245963A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310169613.3
申请日：2013-05-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01S19/49
Abstract: 本发明提出一种双天线GNSS/INS深组合导航方法及装置，其装置包括：电源模块、微机电惯性测量单元、射频模块、FPGA模块、DSP模块和至少两根天线。根据本装置，在惯性导航系统的辅助下可以有效地降低全球卫星导航系统周跳出现的概率，并减小全球卫星导航系统整周模糊度的搜索空间，从而确保姿态测量信息连续输出，增强全球卫星导航系统跟踪环路稳健性，在双天线全球卫星导航系统的辅助下可以实现惯性导航系统快速初始对准，改善惯性导航系统姿态可观测性，从而抑制惯性导航系统姿态发散。
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公开(公告)号：CN1139815C
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN02103612.8
申请日：2002-01-29
Applicant: 清华大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域，其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片，电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工梳齿结构，增大了检测和加力电容，从而使分辨率和精度大大提高。此外，前置放大器采用低输入阻抗电路，闭环反馈加力采用差动直流电压方式，使仪表达到了较高的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN208368489U
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201820349442.0
申请日：2018-03-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型公开了一种封接结构，包括陶瓷腔体、陶瓷引针、金属引针和导电层，所述陶瓷腔体的表面开设有通孔，所述导电层设置在所述通孔的孔壁表面，所述金属引针和所述陶瓷引针设置在所述通孔沿长度方向的不同段中并密封所述通孔，所述金属引针向所述陶瓷腔体外侧凸出，所述导电层与所述金属引针电连接，用于将所述金属引针与所述陶瓷腔体中的电学元件电连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN217334001U
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202220502253.9
申请日：2022-03-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型涉及一种低启动压强的冷阴极溅射钛离子泵及其阳极桶结构。阳极桶结构包括本体和多个金属针，本体设有通孔，本体沿第一方向的两侧分别用于朝向钛阴极板，第一方向为通孔的贯通方向；金属针设置在本体上，金属针的至少一端呈尖端，尖端用于朝向钛阴极板并与钛阴极板间隔设置。上述的阳极桶结构用于低启动压强的冷阴极溅射钛离子泵中，低启动压强的冷阴极溅射钛离子泵用于静电悬浮式仪表等持续高真空要求器件中抽除真空腔内的气体时，利用金属针的尖端与钛阴极板之间的电场强度高的特点，提高真空腔内气体分子被电离的概率，进而加速形成自持放电，降低启动压强，使得低启动压强的冷阴极溅射钛离子泵在较低的压强下即可启动。
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公开(公告)号：CN208232294U
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201820508434.6
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型涉及一种半球谐振器的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211404080U
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202020150630.8
申请日：2020-02-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种正六面体投影球面电极壳与静电悬浮式仪表。其中，所述正六面体投影球面电极壳，通过设置多和形状相同的电极片组成球形壳体，并在每一个电极片的边缘设置内倒角，使得电极边缘以预设曲率弯曲，远离球形壳体的球面，避免支承场强局部集中，进而使得电极片所有区域均能获得均匀的场强分布，在对电极片施加较大电压时，电极片不易击穿。
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公开(公告)号：CN205449087U
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201620173367.8
申请日：2016-03-08
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/574
Abstract: 本实用新型涉及一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪，该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括拥有四对称轴的八边形平面框架结构的支撑架，四根沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架外侧的锚定支撑柱，四个沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架内侧的质量块，四个分别设置在四个质量块与支撑架之间的驱动检测单元和四个分别设置在四个质量块远离支撑架一侧的驱动单元；相对的两个质量块完全相同，每个质量块接近支撑架的一侧设置有驱动检测电容可动极板、远离支撑架的一侧设置有驱动电容可动极板，质量块能在支撑架平面内产生“主模态”振动，或者产生“次模态”振动，或者同时产生“主模态”和“次模态”振动。
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