公开(公告)号：CN105547533A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510903317.0

申请日：2015-12-09

Applicant: 北京大学

Inventor： 杨芳 ,  王玮 ,  张大成 ,  黄贤 ,  何军 ,  张立 ,  李婷 ,  罗葵 ,  王颖 ,  姜博岩

IPC: G01L1/18

CPC classification number: G01L1/18

Abstract: 本发明公开了一种压力计芯片结构及其制备方法，该结构相比传统典型结构具有尺寸小，稳定性好、抗过载能力强和长期可靠性高等突出优势。此外针对该芯片结构开发的工艺流程与常规微纳加工技术兼容，器件加工成本低廉，芯片可实现较高的一致性。这种方法加工的压力计芯片具有更高的长期工作稳定性和抗过载破坏性能、较高的工艺可靠性，更小的芯片尺寸和成本以及更广阔的应用领域。

公开(公告)号：CN103014169B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210591332.2

申请日：2012-12-28

Applicant: 北京大学

Inventor： 桑建明 ,  王玮

IPC: C12Q1/68

Abstract: 本发明提供一种基于纳米颗粒和滚环扩增的核酸定性检测方法。该检测方法主要利用滚环扩增之前，二氧化硅纳米颗粒在溶液中呈分散状态，当存在目标核酸分子时，滚环扩增发生，二氧化硅纳米颗粒聚集在一起，在溶液中形成肉眼可见的白色团块状物质，以达到定性检测目标核酸分子的目的。该方法通过滚环扩增前后二氧化硅纳米颗粒的聚集状态即可判断目标核酸分子的有无，既实现了对微量核酸分子的大量扩增，又实现了结果的快速直观检测，无需专门的检测仪器，降低检测的成本，适合临床检测的推广。

公开(公告)号：CN102963859B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210451765.8

申请日：2012-11-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 赵丹淇 ,  张大成 ,  何军 ,  黄贤 ,  杨芳 ,  田大宇 ,  刘鹏 ,  王玮 ,  李婷 ,  罗葵

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明公开一种用于实时确定牺牲层腐蚀时间的测试结构，包括自下而上排列的牺牲层、MEMS结构层和金属层；所述金属层中的金属在所述牺牲层腐蚀完成时发生脱落。该测试结构使用双材料梁作为敏感原件，测试单元优选按照阵列方式排列，以提高整个在线测试结果的可靠性。利用该结构制备MEMS器件的方法可与常用的牺牲层工艺兼容，可同时完成，实现工艺的在线监控。本发明可以通过肉眼观测的方式，非接触非破坏地确定牺牲层腐蚀时间，能够提高MEMS工艺质量和成品率，并大大缩短工艺时间。

公开(公告)号：CN104729919A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201510108879.6

申请日：2015-03-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 何军 ,  张大成 ,  张立 ,  王玮 ,  杨芳 ,  田大宇 ,  刘鹏 ,  李婷

IPC: G01N3/08

Abstract: 本发明公开了一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统，利用新设计的片上试验机结构和微电子工艺检测分析用探针台相结合的系统，提取微梁的拉伸断裂强度参数。此方法可用来进行刻蚀(腐蚀)工艺监测，也可用来预测器件的机械可靠性。具备自定位、自测力能力；具备施加大负载的能力(mN以上的力)，满足各种测量要求；方法简单，不需要大型高精密仪器。

公开(公告)号：CN102174391B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201110058143.4

申请日：2011-03-10

Applicant: 北京航空航天大学 ,  北京大学

Inventor： 孙艳 ,  樊瑜波 ,  崔绍艳 ,  王玮 ,  刘姚萍

IPC: C12M1/42 ,  C12N15/02

CPC classification number: C12M35/02 ,  C12M23/34 ,  C12M47/04

Abstract: 本发明涉及一种细胞电融合芯片，可以准确高效的完成细胞一对一电融合，可在生物医学工程领域的科研中应用。本细胞电融合芯片由细胞融合室，细胞定位通道和细胞吸取通道组成。细胞吸取通道连接注射泵，两种不同细胞分别被吸附并定位在位于细胞融合室的细胞定位通道末端。细胞融合室间距允许两个细胞轴向排列。细胞吸取通道外端加电极，通以交流电和直流电，使细胞融合室中两个异种细胞之间发生两两融合。本发明可大大提高异种细胞配对和融合的概率，操作简单，一次可完成大量细胞融合，并具有易于观测的特点。

公开(公告)号：CN102206580B

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201110074962.8

申请日：2011-03-28

Applicant: 北京航空航天大学 ,  北京大学

Inventor： 樊瑜波 ,  孙艳 ,  崔绍艳 ,  王玮 ,  刘姚萍

IPC: C12M1/42 ,  C12N15/02

CPC classification number: C12M35/02

Abstract: 一种流式细胞电融合仪包括：细胞一对一融合部分、融合细胞检出分选部分和单细胞收集部分；细胞一对一融合部分上设有多对平行的细胞定位通道，通道末端可吸附不同的细胞，在电流作用下两种细胞可靠近并发生融合。融合后细胞经放置质膜完全融合后，进入融合细胞检出分选部分，融合细胞检出分选部分主要由激光光源、荧光检测器和偏转板构成，发生融合的细胞既红绿荧光双染的细胞被收集到收集管，每收集一个细胞，检测器液滴将停止流动，安装于收集管上部的细胞培养液贮存器向收集管加入200μl细胞培养液，200μl细胞培养液使收集管末端打开，液体进入下方96孔板的一个孔中。此时，流动室液体继续开启，将下一个融合细胞放入96孔板下一孔中。本发明可一次性连续完成细胞一对一电融合，融合后融合子可正确检出并将每个融合子分别培养。

公开(公告)号：CN103014169A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210591332.2

申请日：2012-12-28

Applicant: 北京大学

Inventor： 桑建明 ,  王玮

IPC: C12Q1/68

Abstract: 本发明提供一种基于纳米颗粒和滚环扩增的核酸定性检测方法。该检测方法主要利用滚环扩增之前，二氧化硅纳米颗粒在溶液中呈分散状态，当存在目标核酸分子时，滚环扩增发生，二氧化硅纳米颗粒聚集在一起，在溶液中形成肉眼可见的白色团块状物质，以达到定性检测目标核酸分子的目的。该方法通过滚环扩增前后二氧化硅纳米颗粒的聚集状态即可判断目标核酸分子的有无，既实现了对微量核酸分子的大量扩增，又实现了结果的快速直观检测，无需专门的检测仪器，降低检测的成本，适合临床检测的推广。

公开(公告)号：CN103011056A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210501839.4

申请日：2012-11-29

Applicant: 北京大学

Inventor： 何军 ,  张大成 ,  黄贤 ,  赵丹淇 ,  林琛 ,  王玮 ,  杨芳 ,  田大宇 ,  刘鹏 ,  李婷 ,  罗葵

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明公开一种增强SOG工艺微结构键合强度的方法，该方法采用由多个锚点构成的组合式锚点结构进行微结构键合。该组合式锚点优选为阵列形式。可以通过拉伸或者剪切断裂试验确定使组合式锚点结构的键合强度最大的锚点数目，并作为组合式锚点中锚点的数目。可以通过光刻允许的最小间距、保持有利于应力释放的极限间距两个因素确定组合式锚点中锚点间的间隙尺寸。本发明还提供一种采用所述组合式锚点结构MEMS器件；本发明通过对锚点的分布进行合理的设计以减小工艺过程中带来的热失配应力，从而增强基于SOG工艺制造的微结构的键合强度，能够显著提高工艺成品率，提高基于SOG工艺制造的MEMS器件的可靠性。

公开(公告)号：CN102967510A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210397912.8

申请日：2012-10-18

Applicant: 北京大学

Inventor： 何军 ,  张大成 ,  赵丹淇 ,  王玮 ,  杨芳 ,  田大宇 ,  刘鹏 ,  李婷 ,  罗葵

IPC: G01N3/26

Abstract: 本发明涉及一种施加垂直于悬臂梁的作用力的方法和装置，通过探针台探针向具有曲面探针头的片上力学微探针施加负载力；片上力学微探针通过曲面探针头向悬臂梁施加作用力，同时该片上力学微探针进行转动以使该悬臂梁在弯曲过程中受到的作用力始终垂直于该悬臂梁。本发明在对被测悬臂梁施加作用力的过程中不会产生沿悬臂梁方向上的弹力，也不会产生摩擦力；并且由于力学微探针的缓冲作用使得负载力的施加更稳定，测量结果更准确。

公开(公告)号：CN102963861A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210450745.9

申请日：2012-11-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 赵丹淇 ,  张大成 ,  何军 ,  黄贤 ,  杨芳 ,  田大宇 ,  刘鹏 ,  王玮 ,  李婷 ,  罗葵

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明公开一种实时确定牺牲层腐蚀时间的方法，其步骤包括：采用表面牺牲层工艺在基片上制作牺牲层和MEMS器件的结构层；在所述结构层上淀积金属层；湿法腐蚀所述牺牲层，通过观测所述金属层中金属的脱落情况确定腐蚀完成时间。本发明可以通过肉眼观测的方式，非接触非破坏地确定牺牲层腐蚀时间，能够提高MEMS工艺质量和成品率。