离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法

    公开(公告)号:CN114164395B

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202111443771.4

    申请日:2021-11-30

    Abstract: 本公开提供的离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法,设备包括:炉体;位于炉体内的工件盘;位于炉体内的工件盘上方的阳极板;位于炉体内的工件盘下方的辅助阴极;位于炉体内的工件盘、阳极板和辅助阴极外围的空心阴极筒;第一电源,用于为空心阴极筒和辅助阴极提供脉冲电压的第一电源;和用于为工件盘提供脉冲偏置电压的第二电源。系统包括:离子氮碳硫多元共渗设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。方法包括向炉体内通入含有氮、氢、碳和硫元素的气体,并控制第一电源和第二电源的关断。本公开可提高离子扩渗炉内的离子体密度,有效增加扩渗层厚度和表面硬度,以此提高扩渗质量,同时方便阳极清洗。

    CrWZrN多层梯度结构涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN115074677A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210531419.4

    申请日:2022-05-16

    Abstract: 本发明公开了一种CrWZrN多层梯度结构涂层及其制备方法。所述CrWZrN多层梯度结构涂层包括:基底;以及依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层和CrWZrN涂层。本发明在CrWZrN多层梯度结构涂层中引入了W、Zr、Cr和N元素,进一步提高了材料的表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性,并使得基体和涂层间保持合理的多层硬度梯度,在合理控制内应力的同时还提升了基体和涂层的结合强度。

    一种关节轴承
    103.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113202862A

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202110499641.6

    申请日:2021-05-08

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明属于智能轴承技术领域,涉及一种关节轴承。包括轴承内圈、轴承外圈、轴承端盖、自润滑层、柔性电路板、微型传感器集成系统、无线信息传输系统和无线供电系统;柔性电路板安装在轴承端盖的内侧,柔性电路板与轴承端盖热熔为一体;微型传感器集成系统和无线信息传输系统设置在柔性电路板上;无线供电系统利用轴承端盖和轴承外圈上的微孔,通过线路与微型传感器集成系统和无线信息传输系统相连;无线供电系统的接收端线圈和发射端线圈置于轴承外圈外环的环形凹槽内。本关节轴承中采用基于谐振耦合方式进行无线供电,简化了轴承结构,又增加了轴承的功能而且关节轴承的检测更加实时、高效,轴承的运行更加安全可靠。

    石墨烯/四氧化三锰复合纳米润滑添加剂及其合成方法

    公开(公告)号:CN107805530B

    公开(公告)日:2020-06-19

    申请号:CN201710958604.0

    申请日:2017-10-16

    Abstract: 本发明公开了石墨烯/四氧化三锰复合纳米润滑添加剂及其合成方法,其中,合成方法包括:将石墨与高质量比的浓硫酸和高锰酸钾混合并进行氧化反应,得到含有氧化石墨和/或氧化石墨烯的混合液;向混合液中加双氧水,还原未反应的高锰酸钾,并加水稀释后超声预定时间,得到氧化石墨烯混合液;调节氧化石墨烯混合液的pH至碱性,反应得到四氧化三锰并负载在氧化石墨烯上,对混合物进行蒸发或者过滤,得到固体产物;将固体产物在高温下进行还原处理,得到石墨烯/四氧化三锰复合产物;将石墨烯/四氧化三锰复合产物经清洗后进行球磨处理,得到石墨烯/四氧化三锰复合纳米润滑添加剂。该方法简单高效,且制备得到的添加剂具有优异的分散性和润滑性。

    Ti/TiN/TiAlSiN/TiAlCrSiN纳米多层梯度膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN109207938A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201811136994.4

    申请日:2018-09-28

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明提出的一种Ti/TiN/TiAlSiN/TiAlCrSiN纳米多层梯度膜及其制备方法,属于氮化膜技术领域。本纳米多层梯度膜是通过多弧离子镀方法,在低合金钢或模具钢基体上,由依次沉积的Ti打底层、TiN过渡层、TiAlSiN过渡层和TiAlCrSiN膜层组成;该纳米多层梯度膜的总厚度为1.8-3.6μm;Ti、Al、Cr、Si元素的总含量范围分别为30at%-34at%、20at%-24at%、5at%-10at%、3at%-5at%;该纳米多层梯度膜的膜基结合力为36-48N,摩擦系数为0.02~0.03,纳米硬度为32-36Gpa。本方法通过改变基体负偏压,各中间层的沉积时间以及靶的转换,得到获得高韧、摩擦系数低以及耐磨性良好的梯度纳米多层膜。

    航空轴向柱塞液压泵及其斜盘

    公开(公告)号:CN108488051A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810210407.5

    申请日:2018-03-14

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: F04B1/146 F04B53/00 F04B53/18

    Abstract: 本发明公开了一种航空轴向柱塞液压泵及其斜盘,所述斜盘包括本体,所述本体的与航空轴向柱塞液压泵的滑靴配合的端面上具有上死点和下死点,所述上死点和所述下死点之间连线的两侧分别形成吸油冲程带和排油冲程带,所述吸油冲程带和/或所述排油冲程带设有沟槽,所述上死点位置附近和/或所述下死点位置附近设有凹坑。根据本发明实施例的斜盘,通过设置沟槽和凹坑,可提升滑靴副油膜成膜及润滑特性,滑靴副承载能力强,耐压耐磨特性好,使用寿命长。

    航空轴向柱塞液压泵

    公开(公告)号:CN104806464B

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201510084816.1

    申请日:2015-02-16

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种航空轴向柱塞液压泵。所述航空轴向柱塞液压泵包括:斜盘;和滑靴,所述滑靴包括本体,所述本体的第一端面与所述斜盘配合,所述本体的第一端面上设有油室和环形的油槽,所述油室位于所述油槽的内侧,所述油室与所述油槽之间形成密封带,所述油槽的外侧形成辅助支撑带,其中所述本体的第一端面上设有多个凹坑,多个所述凹坑的一部分位于所述密封带上,多个所述凹坑的其余部分位于所述辅助支撑带上。根据本发明实施例的航空轴向柱塞液压泵具有动压效应好、耐压耐磨特性好、使用寿命长等优点。

    用于加工超光滑轴承钢表面的抛光液及其应用

    公开(公告)号:CN104293206B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201410490804.4

    申请日:2014-09-23

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于加工超光滑轴承钢表面的抛光液及其应用,该抛光液包括:0.01~40wt%的研磨颗粒;0~10wt%的氧化剂;0.1~10wt%的金属络合剂;0~5wt%的金属缓蚀剂;以及余量的水,其中,研磨颗粒选自单晶金刚石、聚晶金刚石、三氧化二铝、二氧化锆、二氧化钛、二氧化铈、煅制二氧化硅和胶体二氧化硅中的至少一种,氧化剂选自高碘酸盐、碘酸盐、高氯酸盐、过硫酸盐和过氧化氢中的至少一种,金属络合剂选自氨、氨基酸和有机酸中的至少一种,金属缓蚀剂选自含氮杂环衍生物、含硫杂环衍生物和同时含有氮、硫的杂环衍生物中的至少一种。使用该抛光液得到的轴承钢具有低的表面粗糙度和低的缺陷数量的功能特性,因此使得该轴承钢可以应用于精密器件中。

    用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法

    公开(公告)号:CN103071650B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201310023763.3

    申请日:2013-01-22

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法,所述用于晶圆的刷洗装置包括:机架;第一和第二毛刷,所述第一和第二毛刷相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面;和第一和第二清洗液供给单元,所述第一和第二清洗液供给单元相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于向所述晶圆的两侧表面供给清洗液,其中所述第一和第二清洗液供给单元中的每一个供给的清洗液的量沿所述晶圆的径向由内向外增加。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置可以提高晶圆的刷洗效率,减少晶圆的刷洗时间,减少刷洗晶圆的清洗液用量。

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