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公开(公告)号:CN109470145A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201811496708.5
申请日:2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 偏振调制高分辨力立体视觉测量系统与方法属于光学非接触三维测量领域,具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量系统联用测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法;该装置两个及以上偏振调制高分辨力立体视觉单目测量装置组成,每一个偏振调制高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块和扫描放大测量模块;该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内;其次,利用扫描放大测量模块通过摄像模块逐点扫描整个物体;利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌;本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号:CN108760690A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810498506.8
申请日:2018-05-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/63
Abstract: 椭球反射镜聚焦环形孔径照明光学谐波生成激发方法属于非线性光学测量领域;该光学谐波生成激发方法的理论基础为沃尔夫衍射积分理论。通过建立椭球面反射镜聚焦系统聚焦环形孔径照明下的焦点附近电场的三维矢量模型,结合样品的非线性极化率张量矩阵,可以计算出所激发出的谐波极化场强度分布。飞秒激光器发出的脉冲激光经过准直,由椭球面反射镜聚焦系统聚焦于样品处。椭球面反射镜聚焦系统采用环形孔径照明。所述的椭球面反射镜聚焦系统包括大数值孔径物镜和椭球面反射镜;所述大数值孔径物镜的焦点和椭球反射镜的远焦点F1重合,椭球面反射镜的近焦点F2位于样品的表面上;使用本发明,可以抑制谐波激发过程中产生的噪声,提高所激发出的光学谐波的信噪比,同时压缩谐波极化场强度分布的半高宽。
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公开(公告)号:CN103090787B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201310033407.X
申请日:2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于被测表面荧光激发的共焦显微测量装置属于表面形貌测量技术领域;该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜;配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、探测物镜和被测件;配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器;所述的探测器中含有窄带滤光片;所述的被测件由微位移载物台承载,表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜;这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号:CN103105143B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201310033429.6
申请日:2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置属于表面形貌测量技术领域;该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜;配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、探测物镜和被测件;配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、分光镜、第二针孔和第二探测器;配置在分光镜反射光路上的第一针孔和第一探测器;所述的第一、二探测器分别配备有第一、二窄带滤光片;被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜并由微位移载物台承载;这种设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号:CN103115585A
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201310033302.4
申请日:2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 基于受激辐射的荧光干涉显微测量方法与装置属于表面形貌测量技术领域;该方法首先在被测件和参考镜表面镀膜,再经单色探测激光激发,最后解算探测面上的干涉条纹;该装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜、分光棱镜、参考聚焦物镜、参考镜和位移驱动器;配置在分光棱镜反射光路上的探测聚焦物镜和被测件;配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器;被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜;这种设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号:CN103105142A
公开(公告)日:2013-05-15
申请号:CN201310033367.9
申请日:2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置属于表面形貌测量技术领域;该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜;配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、反射式物镜和被测件;配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器;所述的探测器中含有窄带滤光片;所述的被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜;这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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