-
公开(公告)号：CN117612936A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311582211.6
申请日：2023-11-24
申请人： 扬州杰利半导体有限公司
IPC分类号： H01L21/329 , H01L29/861 , C23C14/34 , C23C14/18 , C23C14/58
摘要： 一种AL选择性扩散的二极管生产工艺。涉及半导体加工技术领域。包括以下步骤：步骤S100：N衬底选取；步骤S200：N衬底上生长氧化膜；步骤S300：一次单面选择性光刻；步骤S400：氧化膜去除；步骤S500：AL溅射；步骤S600：在溅射面贴一层具有粘性的蓝膜，在烘箱中烘烤；步骤S700：揭膜去除氧化膜上的AL；步骤S800：真空合金及base区表面金属去除。步骤S100中N衬底的选取根据产品的耐压需求，选择不同电阻率的N衬底硅片，一般为50‑100Ω。本发明既在短的扩散时间内实现了AL的选择性扩散形成较高的耐压，又保留了较高的表面浓度形成良好的欧姆接触。
-
公开(公告)号：CN117604470A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311554896.3
申请日：2023-11-21
申请人： 电子科技大学长三角研究院(湖州)
摘要： 本发明属于AlN薄膜技术领域，公开了一种Mo层诱导AlN薄膜的高效生长方法及其性能测试方法。利用直流脉冲磁控溅射方法在Si上制备出Mo薄膜；选择形态、性能优异的Mo膜；在Mo膜上制备出择优取向高的AlN薄膜。在晶粒细小、均匀的Mo电极上生长AlN薄膜。生成AlN膜的工艺参数为：温度650℃，靶基距8cm，溅射功率80W，时间1.5小时，ArN比7:3.4，压强0.5Pa。本发明在Mo膜上生长的AlN膜的XRD峰尖锐，强度强。在晶粒细小、均匀的Mo电极上沉积的AlN薄膜晶粒分布均匀且择优取向度高。
-
公开(公告)号：CN117587339A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311626574.5
申请日：2023-11-30
申请人： 中国矿业大学
IPC分类号： C22C47/14 , C23C14/18 , C23C14/35 , C23C14/58 , C22C47/04 , C22C49/11 , C22C49/14 , C23C14/54 , C22C101/14 , C22C121/02
摘要： 本发明公开了一种基体组织可调的纤维增强钛基复合材料的制备方法，包括以下步骤：S1：将带有保护涂层的SiC纤维缠绕至磁控溅射设备的转轮上，用TC4、TC17型钛合金靶材平行放置于SiC纤维的内、外两侧；S2：向溅射室里通入纯氩气和氩/氧混合气，当溅射室内的压力达到0.5～2Pa时，开启所有靶材进行溅射沉积，当沉积厚度达到2～5μm时，关闭氩/氧混合气；S3：继续通入纯氩气，再次沉积2～10μm厚度；S4：重复S2和S3，直至钛合金沉积层厚度达到20～45μm停止，取出钛合金先驱丝并裁剪成束，再将密封后毛坯件进行热等静压成型。本发明制备方法可以获得具有等轴组织、片层组织和双态组织基体的钛基复合材料，可以实现强化效果。
-
公开(公告)号：CN115058686B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202210695225.8
申请日：2022-06-17
申请人： 广东风华高新科技股份有限公司
摘要： 本发明属于温度传感材料技术领域，涉及一种调控Pt膜层晶体生长取向的制备方法。本发明所述的制备方法包括如下工艺步骤：图案化掩膜、溅射镀膜、去除掩膜、退火处理。其中，通过溅射镀膜与退火处理工艺的结合，先后沉积缓冲层Ta层、功能层Pt层，通过调控溅射过程中氧气含量、退火处理的温度及保温时间，从而实现对Pt膜层晶体取向的调控。该方法得到的Pt膜层具有晶体取向多样、致密性高、TCR高及线性度好的优势，且该方法具有成本低、易操作、易实现批量或规模化生产、成品率高、稳定性高、所得的膜性能优越等特点，为推动Pt温度传感器的发展具有积极作用。
-
公开(公告)号：CN117547644A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311387233.7
申请日：2023-10-25
申请人： 东莞宜安科技股份有限公司
IPC分类号： A61L27/04 , A61L27/30 , A61L27/54 , A61L27/32 , A61L27/56 , C23C28/00 , C25D9/04 , C23C14/35 , C23C14/18
摘要： 本发明针对医用镁合金降解速率过快、生物活性不足的问题，提出了一种医用镁合金表面耐蚀抗菌促成骨涂层及其制备方法。所述医用镁合金为含一种或一种以上生物相容性元素(如Zn、Ca、Sr、Mn等)的镁合金；所述涂层为陶瓷+金属层状复合涂层，从基体由内而外依次为掺杂有ZnO、CuO、SrO氧化物粉末的Ca‑P微弧氧化涂层(ZnO/CuO/SrO@Ca‑PMAO)以及可生物降解的Zn‑Cu‑Sr MS磁控溅射涂层(Zn‑Cu‑Sr MS)；所述制备方法包括机械研磨、喷丸处理、微弧氧化、磁控溅射、后热处理。
-
公开(公告)号：CN117543033A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311426555.8
申请日：2023-10-31
申请人： 深圳市氢瑞燃料电池科技有限公司 , 深圳市雄韬电源科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种Pt基合金催化剂及其制备方法和应用，属于燃料电池技术领域。所述Pt基合金催化剂的制备方法包括如下步骤：将溅射基体材料固定在磁控溅射仪的腔室底座上，将第一溅射靶材和共溅射的第二溅射靶材分别安装在靶台上，并调节样品台和靶材距离；调整真空室气体压力为1.0‑10.0Pa，打开靶材挡板和电源，按照预设定组成比例分别设定第一溅射靶材和第二溅射靶材的溅射功率，获得Pt基合金催化剂。获得的Pt基合金催化剂在燃料电池催化剂中应用。本发明Pt基合金催化剂的制备过程更为简便且周期较短，适合大面积连续薄膜材料的制备特点；此外制备的样品更可控，结构容易控制、且重复性好，沉积温度低，可以在常温下实现沉积。
-
公开(公告)号：CN114488361B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210072105.2
申请日：2022-01-21
申请人： 南京波长光电科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种超低应力的8‑12μm红外宽带增透薄膜及其制备方，超低应力的8‑12μm红外宽带增透薄膜，膜系结构为SUB/aHbLcHdLeH/air，其中，SUB代表蓝宝石基底、air代表空气、H代表ZnSe层、L代表Yb‑A层，Yb‑A层为YF3与掺钙1wt％‑8wt％的YbF3体积比为1:1‑5:1的混合膜层；a‑e代表每层的四分之一参考波长光学厚度的系数。本发明超低应力的8‑12μm红外宽带增透薄膜及其制备方，通过混合膜料的搭配，得到了应力变化较小的增透膜层，使成品后膜层的面型维持在基底本身原有的面型，从而获得较好的薄膜牢固度，有效解决膜层间应力大及膜层附着力小的问题，使得到的膜层既有良好的光谱性能又有较好的机械稳性能，8‑12μm平均单面反射率不大于0.3％，平均双面透过率不小于99.3％，薄膜应力接近为0。
-
公开(公告)号：CN117525170A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311496775.8
申请日：2023-11-10
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
IPC分类号： H01L31/0203 , H01L27/146 , C23C14/18 , C23C14/24
摘要： 本发明公开了一种背照式EBAPS的制作方法，采用背照式APS图像传感芯片结合真空光电阴极的方案，光电阴极能够将微弱光信号转换为电子信号，经过高压电场的加速，高能电子轰击CMOS芯片表面，在CMOS中发生倍增，CMOS将接收的电子信号放大和转换生成数字信号；因此，EBAPS器件既有传统微光夜视器件像增强器很好的低照性能，也具备CMOS图像传感器高帧率、高分辨率等特性。解决了目前传统微光夜视器件无法数字化输出，低照度CMOS器件低照性能差，以及EMCCD等数字化微光夜视器件帧率低、分辨率低的问题。
-
公开(公告)号：CN117488254A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311374555.8
申请日：2023-10-23
申请人： 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 , 中国建材集团有限公司
摘要： 本发明公开一种反式钙钛矿电池锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、选取衬底，先用洗涤剂、去离子水超声清洗后，然后依次放入丙酮、无水乙醇中分别超声清洗，用氮气枪将衬底干燥；S2、把衬底采用射频等离子体叠加脉冲负偏压对衬底清洗；S3、把清洗后的衬底采用直流/射频耦合反应溅射工艺在ITO表面沉积NiOX薄膜，同时采用直流溅射工艺在ITO表面共沉积金属锌和金属钴；S4、溅射完成后，待衬底冷却到室温，加热衬底恒温后，再次冷却至室温取出样品，得到锌、钴共掺杂NiOX薄膜，本发明制备的掺杂NiOX薄膜具有更好的电学性能和透过率，在掺杂NiOX薄膜上制备的钙钛矿薄膜吸收效果稳定，有利于反式钙钛矿电池具有更高的光电转换效率和稳定性。
-
公开(公告)号：CN115075932B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210770728.7
申请日：2022-06-30
申请人： 牛墨石墨烯应用科技有限公司
发明人： 陈大波
摘要： 本发明公开汽车发动机用石墨烯散热复合材料制备方法，包括如下步骤：S1：取成型容器，放入铜扁管；S2：取碳纤维束，在碳纤维束上沉积钴膜；S3：制备石墨烯悬浮液；将步骤S2得到的碳纤维束置于石墨烯悬浮液中，超声波分散后得到混合液；S4：磁吸排列；S6：冷冻干燥工艺在铜扁管表面形成碳纤维束‑石墨烯导热材料；S7：焊接；本发明通过多级磁吸排列对混合液中的碳纤维束进行高度定向排列，使得导热性能更佳，将铜扁管与石墨烯导热材料一体成型，可以很大程度的降低铜扁管与导热材料之间的界面热阻，此外本发明首先采用多吡啶化合物以及羧基化合物之间氢键作用力，使得混合液中石墨烯分散更均匀，减小石墨烯团聚，进一步提高材料的导热性能。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
4857 条记录 (耗时 0.031 秒)
