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公开(公告)号：CN103905009A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310684125.6
申请日：2013-12-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H3/0072 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明提供振子、振荡器、电子设备、移动体和振子的制造方法。振动效率更高且抑制了振动泄漏。MEMS振子（100）具有：基板（1）；固定部（23），其设置在基板（1）的主面上；支承部（25），其从固定部（23）延伸；振动体（上部电极（20）），支承部（25）使该振动体与基板（1）分离，并支承该振动体的振动的波节部，振动体是具有从振动的波节部辐射状地延伸出的2n个梁的2n重对称的旋转对称体，其中，n为自然数。
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公开(公告)号：CN103888097A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201310684254.5
申请日：2013-12-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/215 , H03B5/32 , H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H2003/026
Abstract: 振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。石英振动片（1）具备基部（10）和从基部（10）的第1端部（10a）沿着Y轴方向延伸的一对振动臂（11），基部（10）在Y轴方向上的第1端部（10a）的相反侧具有第2端部（10b）。基部（10）在分别连结第1端部（10a）的两端（10a1、10a2）与第2端部（10b）的两端（10b1、10b2）的第3端部（10c）以及第4端部（10d）的至少一方设置有突出部（10e）。
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公开(公告)号：CN102195606B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110059460.8
申请日：2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H9/2457 , H03H9/2478 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供小型且实现了低频化和高Q值化的振动片。为此，振动片具有：形成有一对切口的基部；以及从基部的第1部分的一端侧起彼此平行地延伸的一对振动臂。各振动臂具有作为主要振动部的一般部，并且，在振动臂的与基部连接的根部的相反侧的前端侧具有宽度比一般部的宽度宽的施重部。并且，形成有沿着各振动臂的两个主面中的至少一个主面具有开口部的有底的长槽，在所述振动臂的与所述基部连接的根部的相反侧的前端侧，形成有宽度比与所述基部连接的所述根部侧的宽度宽的施重部。在振动臂的长度方向上，施重部的长度在从与基部连接的根部到前端侧的长度中所占的比例位于35％～41％的范围内。
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公开(公告)号：CN102064793B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201010542414.9
申请日：2010-11-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/21 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H03B5/32 , H03H9/02 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供一种能够提高Q值的振动器件及电子设备。石英振动片具有基部和振动臂，基部具有切入部，振动臂具有臂部、施重部和槽部，石英振动片的谐振频率f比热缓和频率f0大，在将切入部的外缘与形成在一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最接近距离设为基部弯曲宽度Wb，将与振动臂的长度方向正交的面上的振动臂的截面形状置换为热弹性损失等价的相同厚度的矩形形状时的振动臂的臂宽设为有效臂宽We，将切入部的外缘与形成在一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的温度差设为dΘb，将振动臂的根部中的臂宽W方向的两端(一端12c、另一端12d)之间的温度差设为dΘ时，Wb＞We×dΘb/dΘ，其中，dΘb＜dΘ。
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公开(公告)号：CN103580640A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310302323.1
申请日：2013-07-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/0509 , H03H9/0552 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动片、振子、振荡器以及电子设备。本发明提供一种能够在抑制粘接剂的扩展的同时发挥与对象物（尤其是封装的基底基板）之间的优异接合强度的振动片、具有该振动片的振子、振荡器以及电子设备。振动片（200）具有：基部（220）；从基部（220）突出的至少一对振动臂（230、240）；从基部（220）突出的支承臂（250）；以及第1贯通孔（251），其形成于支承臂（250），在厚度方向上贯通支承臂（250），振动片（200）隔着侵入到第1贯通孔（251）内的粘接剂被固定到对象物上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103401525A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310336765.8
申请日：2011-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/02 , A63F13/08 , A63F2300/204 , G04F5/06 , G06F1/1616 , H03B28/00 , H03H3/02 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，通过蚀刻加工而得到的振动片具有：基部，具有缺口和连接部、第1部分以及第2部分，缺口和连接部沿着第1方向排列，第1部分沿着与第1方向交叉的方向排列在缺口和连接部的一侧，与连接部连接，第2部分沿着交叉的方向排列在缺口和连接部的另一侧，与连接部连接；以及振动臂，沿着与第1方向交叉的第2方向从第1部分突出，缺口具有：第1范围，具有被基部的主面的外缘夹着划定的第2方向上的宽度；第2范围，与第1范围相比，离连接部更远；以及第3范围，位于第1范围与第2范围之间，对于在第1方向上延伸的假想线与外缘所成的角，第3范围中的上述角比第1范围和第2范围中的上述角小。
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公开(公告)号：CN101578764B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200880002120.8
申请日：2008-01-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/02157
Abstract: 本发明提供了一种减小由激励电极膜厚度的变化而引起的谐振频率波动的轮廓谐振器。轮廓谐振器10包括石英基板20和分别形成在石英基板20的正面和背面上的激励电极30、31。存在这样一个范围：其中，当激励电极30、31的轮廓振动频率Fe与基板的轮廓振动频率之间的比率Fe/Fb大于0.69时，相对于电极膜厚度的频率灵敏度小于现有技术中的情况。也就是说，可以使轮廓振动频率相对于电极膜厚度变化的波动小得多。
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公开(公告)号：CN102195606A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110059460.8
申请日：2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H9/2457 , H03H9/2478 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供小型且实现了低频化和高Q值化的振动片。为此，振动片具有：形成有一对切口的基部；以及从基部的第1部分的一端侧起彼此平行地延伸的一对振动臂。各振动臂具有作为主要振动部的一般部，并且，在振动臂的与基部连接的根部的相反侧的前端侧具有宽度比一般部的宽度宽的施重部。并且，形成有沿着各振动臂的两个主面中的至少一个主面具有开口部的有底的长槽，在所述振动臂的与所述基部连接的根部的相反侧的前端侧，形成有宽度比与所述基部连接的所述根部侧的宽度宽的施重部。在振动臂的长度方向上，施重部的长度在从与基部连接的根部到前端侧的长度中所占的比例位于35％～41％的范围内。
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公开(公告)号：CN102025342A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010286678.2
申请日：2010-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供耐冲击性较高的小型振动片。水晶振动片(20)具备：基部(21)；一对振动臂(22)，其从该基部(21)的一端侧分成两段且互相平行延伸。在基部(21)中，沿着一条直线的相反方向上形成一对切口(41A)、(41B)，以此在该两个主面上出现被缩窄的形状。一对支承臂(30)被设置为，基部(21)中的与一对振动臂(22)的延伸方向交叉的方向上的两个端部，分别在相反的方向延伸后，在弯曲部(31)处弯曲，并与一对振动臂(22)平行延伸。在支承臂(30)的前端侧上设置有承接部(35)，其被配置在相邻振动臂(22)的通常振动时的振幅范围之外，且在相邻振动臂(22)的位移超过通常振幅范围时与该振动臂(22)抵接的位置上。
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公开(公告)号：CN102013881A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010167355.1
申请日：2010-04-23
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H01L41/1132 , G01C19/5607 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供弯曲振动片、弯曲振子以及电子设备。弯曲振动片具有基部和从基部延伸的多个振动臂部，一对振动臂部分别具有第一槽部和第二槽部，所述第一槽部沿着振动臂部的延伸方向形成于沿着一对振动臂部的排列方向的一方的主面，所述第二槽部与第一槽部并列地形成于另一方的主面，第一槽部的深度与第二槽部的深度之和比一方的主面与另一方的主面之间的间隔大，一对振动臂部分别在位于靠近与振动臂部彼此面对的内侧相反的外侧形成的第一槽部的开口侧的一方的主面设有附加重量的质量部。
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