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公开(公告)号：CN119188585A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411560281.6
申请日：2024-11-04
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明涉及一种针对电场均匀排布与光场相互协调的光电化学机械抛光半导体衬底的装置及方法，包括机架、机体单元、抛光盘组件、导电基座、LED紫外光源、电化学工作站和移动组件，机体单元用于抛光盘组件的加载和卸载，电化学工作站、LED光源电源分别在加工过程中为导电基座和LED紫外光源提供电源，LED紫外光源固定在抛光盘上，在抛光盘对工件抛光过程中一同作用在加工中的半导体衬底工件上，半导体衬底工件粘结在导电基座之上。本发明LED光源直接照射在加工工件表面，有效缩短光源与抛光液之间的距离，提高光场的作用，同时调节沿半径不同方向上的光场强度，与施加在工件上的电场一同作用保证工件表面的氧化均匀，加工后的工件的平整度有所保证。
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公开(公告)号：CN115609028B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202211414207.4
申请日：2022-11-11
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种组合式高效超声切削圆片刀。本发明包括刀杆、上切削刀片、导屑环、下切削刀片和锁紧装置，所述刀杆的输入端与超声振动系统相连接，所述上切削刀片、导屑环、下切削刀片从上至下连接在刀杆上，通过所述锁紧装置将上切削刀片、导屑环、下切削刀片与刀杆固定，所述上切削刀片的底端、下切削刀片的顶端与导屑环之间均存在预设距离，形成容屑空间，所述上切削刀片和下切削刀片靠近导屑环侧设有预设的倾角，使得切削过程中的切屑进入所述容屑空间。本发明能够在短的时间内完成较大的去除量，减少了走刀次数、提升了工件的加工效率。该刀具在加工时能给予工件向下的切削分力，有效避免了构件脱粘的现象，减少了蜂窝芯构件的加工损伤。
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公开(公告)号：CN115502855B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202211117909.6
申请日：2022-09-14
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种全气动式深孔自动清理装置，包括筒体、清理与行进单元、锁紧单元、速度调节单元和阀控模块。本发明采用双作用气缸驱动磨料刷头运动，并通过磨料刷头同时完成行走和清理两大功能，从而大大降低了整个装置在结构上的复杂程度。本发明采用锁紧气缸驱动圆弧压板撑开与缩回，实现装置沿深孔轴线的单向锁定，使本发明能够自动沿深孔轴线进行单向运动，降低了控制的复杂程度。本发明通过单气控弹簧复位式两位五通换向阀，实现了装置双作用气缸与锁紧气缸的联合动作，通过改变两气缸动作的相位，实现装置运行方向的切换。本发明完全由气源驱动，提高了整个装置防水、防污垢侵入的能力。
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公开(公告)号：CN114932410B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202210369884.2
申请日：2022-04-08
Applicant: 大连理工大学
IPC: B23P23/00 , B23K26/352 , B23K26/70 , B24B1/04 , B24B41/04
Abstract: 本发明提供一种激光与超声磨削复合的加工刀柄及加工方法，包括刀柄主体、窗口片、换能器、变幅杆、聚焦透镜、激光加工头、刀具夹持装置和加工砂轮，刀柄主体内部设有激光传输通道，刀柄主体与机床主轴的下端连接，刀柄主体内部存在窗口片，刀柄上端设有换能器，与外部超声电源连接，刀柄的输出端为变幅杆，变幅杆的输出端连接激光加工头，激光加工头内部设置所述聚焦透镜，激光加工头的下部通过刀具夹持装置安装加工砂轮。本发明超声刀柄为中空，刀柄上增加激光加工头和光学器件，使得在加工过程中达到激光对材料的软化的效果，同步进行超声辅助磨削加工，降低加工的磨削力和减少磨削热的生成，提高加工效率，减少刀具的磨损，延长刀具使用寿命。
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公开(公告)号：CN114578752B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202210150495.0
申请日：2022-01-29
Applicant: 大连理工大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 一种超声切削直刃尖刀的转角控制方法，它涉及一种新型刀具的控制方法。本发明的目的是为了解决直刃尖刀超声切削蜂窝芯曲面零件时，刀具的刀面矢量需要连续偏转，进而保证直刃尖刀在切削过程中始终以刃口方向去除材料的问题。本发明具有以下步骤：S1、根据直刃尖刀刀位文件计算实时刀面矢量；S2、进行机床A、C旋转角的计算；S3、进行直刃尖刀旋转角的计算；S4、进行机床主轴正反转的判断。本发明可用于各类蜂窝芯材料的超声切削加工，解决了直刃尖刀超声切削蜂窝芯曲面零件时需要连续偏转的应用难题，提升了蜂窝芯材料的加工质量和加工效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117506323A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311791793.9
申请日：2023-12-22
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种螺栓测量滚压一体化加工方法，包括以下步骤：滚压工具轴向在位测量；装夹螺栓；螺栓轴向在位测量；建立轴向对刀补偿量；建立径向对刀补偿量；对刀与滚压加工；完成滚压加工。本发明利用接触式测头和测力仪自动完成滚压工具与螺栓根部R、退刀槽、螺纹牙底的在线位置测量，保证了滚压工具与螺栓滚压部位在线位置测量精度，提高对刀精度的一致性与滚压表面质量一致性，从而降低废品率，延长了螺栓疲劳寿命。本发明对于同一批次螺栓滚压，仅需编辑一次测量、对刀和滚压程序即可完成该批次工件滚压加工；对于不同批次螺栓滚压，仅需输入螺栓结构尺寸可完成不同结构螺栓样件的自动化测量、对刀与滚压加工；大大提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN117250907A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311226056.4
申请日：2023-09-21
Applicant: 大连理工大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种实时调节同步激光辅助加工中重要参数的装置及方法，包括加工平台，还包括激光模块、数控机床模块、工控机、移动装置、检测模块、连接装置、位姿调节模块。在同步激光辅助加工中，所述检测模块实时检测加工温度场，所述工控机实时调控激光模块、数控机床模块和位姿调节模块，实现激光功率和刀具‑激光滞后距离等加工参数的实时调节。本发明可以根据加工温度场实现对重要加工参数的实时调整，规避了加工过程中使用不合理预设参数的情况，减小了固定参数在面对工况变化时会对工件加工质量造成的不利影响，同时使用优先级调节方式对主要参数的适应性调节可以使设备的使用更加合理，能量利用率得到提高。
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公开(公告)号：CN114594730B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202210116212.0
申请日：2022-01-29
Applicant: 大连理工大学
IPC: G05B19/4093
Abstract: 一种用于直刃尖刀超声切削的数控编程方法，它涉及一种非标刀具的编程方法。本发明的目的是为了解决直刃尖刀在使用过程中，由于刀具属于非回转体的非标刀具，其在现有CAM软件中并无相应刀具模型，从而造成直刃尖刀无法直接使用CAM软件进行数控编程的问题。本发明具有以下步骤：S1、利用平头铣刀对工件进行数控编程，并得到相应的APT刀位文件；S2、从刀位文件中提取直刃尖刀的实时刀面矢量；S3、进行直刃尖刀刀刃矢量向刀轴矢量的转换；S4、进行平头铣刀刀位点向直刃尖刀刀位点的转换。本发明用于蜂窝芯材料的超声切削加工，解决了直刃尖刀的数控编程应用难题，拓宽了直刃尖刀的使用范围，进而大大提升了蜂窝芯材料的加工质量和加工效率。
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公开(公告)号：CN116690332A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310428569.7
申请日：2023-04-20
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种基于透光辅材的超薄晶片光电催化辅助CMP加工装置及制备方法、加工方法。本发明包括机体、光源和抛光头，机体包括机座、机架、旋转轴、抛光盘、抛光垫和抛光载荷施加装置，抛光头包括连轴套、导电滑环、固定架、基板、导电极以及导电玻璃，抛光头上设置有抛光液缓冲槽和均匀分布的弧形通孔，加工过程中，抛光液先后通过抛光头上的抛光液缓冲槽、弧形通孔以及导电玻璃上面的孔洞，最后在导电玻璃和抛光盘间形成一定厚度的溶液层，导电玻璃表面沉积覆盖一层窄禁带光电催化半导体复合材料薄膜，用于持续产生羟基自由基。本发明光电催化效率高，光能吸收率优良，适用性范围广，结构简单，成本较低，可实现高质高效加工。
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公开(公告)号：CN114833471B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202210369096.3
申请日：2022-04-08
Applicant: 大连理工大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种同轴超声辅助超快激光制孔单元及方法。本发明包括超快激光器、激光导入机构、成像机构、超声电源和超声能量传输单元，所述超快激光器输出的光束射入激光导入机构，所述激光导入机构将其导入超声能量传输单元中，所述超声能量传输单元与超声电源相连，所述超声能量传输单元为容纳激光通过的中空结构，其内部设有超声传导机构，所述超声能量传输单元的输出端连接有激光头，所述激光头的输出端能够产生轴向的超声振动，所述成像机构用于基于经过超声能量传输单元接触到工件表面返回的光实现激光束对刀。本发明可以减少或避免等离子团在孔壁再次沉积，明显改善孔壁的表面质量，从而达到提高加工效率、提高加工精度及质量的目的。
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