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公开(公告)号：CN112082650A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010919141.9
申请日：2020-09-04
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明提供一种白光干涉测量中光源纹波引入杂散峰的消除方法，在现有的白光干涉测试装置中附加/集成/复用辅助干涉仪，通过辅助干涉仪同步获取光源纹波信息，并设计相应的纹波杂散峰消除算法，将纹波引入的杂散峰在测试结果中消除，还原被杂散峰遮盖的信息。该方法对原有的白光干涉光路改动小，所设计的消除算法简单，具备处理速度快、杂散峰消除效果好等优点，优于目前白光干涉测量领域的纹波消除方法，并且可以广泛适用于光学相干域偏振分析仪、光学相干域反射计等白光干涉测试仪器中。
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公开(公告)号：CN112082492A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010919118.X
申请日：2020-09-04
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明提供一种具有角度监测的薄膜厚度与折射率同时测量的装置及方法，属于光学测量领域，包括宽谱光输出模块、窄线宽激光输出模块、薄膜测量模块、解调干涉仪模块以及采集与控制模块等五个主要部分。本发明基于偏振复用的原理，利用双面四探头的测量结构，在对薄膜厚度及折射率测量的基础上，实现对其角度偏移进行监测及校正，提升厚度测量准确性的同时可对薄膜厚度均匀性的评价。偏振复用技术的采用消除了透射光影响，降低特征干涉峰的识别难度。本发明实现不需要额外的装置即可实现对薄膜的偏转角度进行测量，具有薄膜厚度与折射率测量准确性高、评价结果丰富、自校准、自标定、可溯源以及测量系统稳定性高等优点。
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公开(公告)号：CN111693545A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010488277.9
申请日：2020-06-02
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明提供一种用于板条测试的复合结构阵列探头及光纤白光干涉装置，复合结构阵列探头由4×4排列的测量探头，和中央部分对准探头阵列构成，其中对准探头阵列包括，发射子探头，和反射光斑的接收探头阵列，且前端配有自聚焦透镜阵列进行光路准直。并匹配该复合结构排列的阵列探头提出一种新型板条检测装置包括光源，1×2耦合器一，光开关，复合阵列探头，待测板条，位移调节架，用于对准检测的探测器阵列，软件驱动，2×2耦合器二，法拉第旋镜，延迟线结构，干涉信号探测模块，装置中光学元件由单模光纤连接，软件驱动部分通过电路连接，进行控制和接收信号。可以实现对板条弱反射区域的高精度超大动态范围检测。
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公开(公告)号：CN111692991A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010488458.1
申请日：2020-06-02
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种基于白光干涉测量板条键合面的点云数据获取方法，属于激光板条的质量检测领域，白光干涉系统通过光纤探头对键合面进行光斑点式探测，配合位移调节架实现扫描测试，提出一种改进的点云数据获取方法，尤其涉及双曲率参数加权平均值评估，经过粗测和精测两次点云数据获取的技术方法，具体是：首先粗测采点，获取键合面初步点云，包括键合面三维位置点云，和对应点反射率信息点云；然后构建邻域，求解两种点云对应的曲率分布；最后根据两曲率加权值的值域分级别对键合面区域分割，插值补测。本发明创新性提出改进的加权平均合曲率参数作为键合面缺陷评价指标，并针对合曲率大的区域插值补测，有效节省检测成本。
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公开(公告)号：CN108426530B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201810082442.3
申请日：2018-01-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置及测量方法，属于光学测量领域。具体包括宽谱光源输出模块、窄线宽激光光源输出模块、膜厚测量探头模块、解调干涉仪模块以及采集与控制模块五部分。本发明将窄线宽激光光源输出模块的输出信号直接输入到解调干涉仪模块中，满足干涉信号共光路的同时避免了膜厚测量探头模块中激光透射光以及激光多次反射光对干涉信号质量的影响；通过控制膜厚测量探头尾纤的长度避免了膜厚测量探头模块中宽谱光透射光对特征信号峰识别的干扰。本发明实现不需标定样品标定即可对薄膜的厚度及折射率进行非接触测量，具有自校准、测量结果可溯源、稳定性高、特征信号识别简单等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106989904B
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201710284514.8
申请日：2017-04-25
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供的是一种保偏光纤消光比的测量方法。根据待测光纤内的耦合情况，依次测量得到干涉峰与主峰的半高全宽的宽度、左右端点位置和能量，利用干涉峰能量与主峰能量的比值计算得到光纤内串扰点的消光比；计算低信噪比下的干涉峰的能量时，需要测量干涉信号中的噪声功率，计算干涉峰能量中包含的噪声能量，最后消除噪声在测量过程中引入的偏差；该方法测量精度高，测量结果消除色散影响，可以实现低信噪比下高消光比的精确测量，可广泛应用于对消光比测量要求高的光学器件的分析。
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公开(公告)号：CN105823624B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201610157526.X
申请日：2016-03-18
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明属于光纤测量技术领域，具体涉及到一种用于光学相干偏振测量的标定装置及其动态范围标定方法。本发明包括宽谱光源与功率监测装置510、第一光纤连接器521、第二光纤连接器522、高精度标定装置530、光程相关器540、偏振串扰检测与信号记录装置550。使用特定长度和对准角度的保偏光纤搭建标定装置，可对测量峰的位置和幅度进行精确定位；利用多个串扰点的二阶干涉峰，可对较低峰值进行精确定位。利用不同的标定梯度，提高标定精度和准确性。
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公开(公告)号：CN104792503B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201510223974.0
申请日：2015-05-05
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种增强测量信号的信噪比，提高偏振串扰测量的灵敏度和动态范围，用于光学器件偏振性能的高精度测量与分析的光学偏振器件分布式串扰测量灵敏度增强的装置。一种光学偏振器件分布式串扰测量灵敏度增强的装置，包括宽谱光源、起偏器、待测偏振器件、第一光纤旋转连接器、第二光纤旋转连接器、光程解调与信号探测器、信号检测与处理装置。本发明在单一相关器测量极限的基础上，采用光程相关器两支路同步测量的结构，使用偏振分束器将传输在两偏振主轴上的信号光分离，两路干涉信号同步扫描后线性叠加，在将测量信噪比提升倍的同时，又能测量分布式串扰的绝对强度，大幅提高测量系统灵敏度和准确性。
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公开(公告)号：CN106525390A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201610985383.1
申请日：2016-11-09
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01M11/30
Abstract: 本发明属于光学相干域偏振测量技术领域，具体涉及一种通过抑制超高分布式双折射色散对光学相干域偏振测量装置输出信号的影响来提高测试系统性能的用于具有超高分布式双折射色散的光纤保偏器件的色散补偿方法。本发明包括：将光学相干域偏振测量装置对待测保偏器件进行分布偏振串扰测试得到的分布偏振串扰原始数据的两端进行补零得到初始的待补偿数据；提取待补偿数据在光程差范围内的数据段作为首端数据等。本发明无需额外的硬件配置即可实现对OCDP输出信号进行超高分布式双折射色散补偿，而且灵活度高，可以补偿二阶、三阶双折射色散，并且可以依据需求补偿更高阶的双折射色散。
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