-
公开(公告)号：CN115463803A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202111532888.X
申请日：2021-12-15
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法，该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱；所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通；所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口，所述连通口处设有节流片，所述节流片用于调节所述连通口的大小；所述沉积室内还设有降温平台，所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部，所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法，使用该装置，并通过控制裂解温度和沉积压力等参数，可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积，且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现，有利于减少制造成本。
-
公开(公告)号：CN112366127A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011071633.3
申请日：2020-10-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种固态掩膜聚焦的大气压低温等离子体射流加工方法及应用，包括：在待加工材料表面上旋涂一层掩膜材料，经固化后形成固态掩膜层；采用大气压低温等离子体射流刻蚀固态掩膜层，并使大气压低温等离子体射流刻穿固态掩膜层，在固态掩膜层形成漏斗状结构，对大气压低温等离子体射流起到聚焦作用；之后大气压低温等离子体射流穿过漏斗状结构与待加工材料表面接触，对待加工材料表面进行微加工；刻蚀完成后，去除所述固态掩膜层。本发明对于待加工材料表面无需加工的区域起到保护作用，杜绝加工区域周边出现牛顿环现象，同时降低了大气压低温等离子体射流的加工线宽，从而有效提高表面加工质量。
-
公开(公告)号：CN106370172A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
-
公开(公告)号：CN103278148B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310165090.5
申请日：2013-05-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5621 , G01C19/5628
Abstract: 一种微机电技术领域的磁致伸缩固体振子双轴微陀螺，包括：固体振子、用于驱动固体振子振动的下定子、上定子以及三个磁敏传感器，其中：下定子和上定子对称设置于固体振子的上端面和下端面，三个磁敏传感器分别设置于固体振子的三个侧面上且分别感应固体振子的X轴向磁场变化、Y轴向磁场变化和Z轴向磁场变化，输出相应的电信号以对应实现微陀螺的Y轴向输入角速率的测量、X轴向输入角速率的测量和Z轴向参考振动的监测。本发明微陀螺利用整体式磁致伸缩材料的固体振子同时实现科氏加速度效应耦合微陀螺的驱动振动和检测振动，且能同时测量双输入轴角速率，灵敏度高；采用MEMS技术制造，体积小。
-
公开(公告)号：CN102815399B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210282453.9
申请日：2012-08-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: B64C33/00
Abstract: 本发明公开一种仿生微飞行器领域的仿蜂鸟扑翼微飞行器，包括：机架、减速齿轮组、电机、传动机构、平行轴结构以及一对翅膀。其中机架上面直接装配减速齿轮组、电机和平行轴结构；传动机构装配在减速齿轮组和平行轴结构之间，用来将减速齿轮组输出的连续转动转化成平行轴的往复转动；一对翅膀装配在平行轴结构上面，从而实现自身的拍打运动，并与其他部分形成一个完整的扑翼微飞行器。本发明中两翅膀的拍打运动完全对称，很大程度上减小了振动对飞行器性能的影响，降低了飞行器的控制难度；同时，本发明结构简洁合理，便于加工，更便于进行改进以完成各种复杂的任务。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102815398B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210281708.X
申请日：2012-08-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: B64C33/00
Abstract: 本发明公开一种微飞行器领域的基于三角结构的扑翼微飞行器，包括机架、平行轴结构、运动输出结构、运动放大结构及一对翅膀，其中机架上直接装配平行轴结构和运动输出结构；平行轴结构将运动输出结构、运动放大结构和翅膀连成一整体；运动输出结构与平行轴结构的一端相连；运动放大结构安装在平行轴结构的中部；翅膀安装在平行轴结构的另一端。本发明中两翅膀的拍动完全对称，基本消除了飞行中的不平衡因素，提高了飞行器的整体性能，并使飞行器变得易于控制；同时，本发明结构简洁合理，具有可加工性和可微性，便于采用数控微加工进行批量生产。
-
公开(公告)号：CN102328744B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201110223769.6
申请日：2011-08-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种基于柔性铰链的电磁驱动式扑翼微飞行器，包括：胸腔、圆柱形永磁体、螺旋线圈、翅膀、背甲、弯曲变形的柔性铰链，两个被动扭转的柔性铰链。一对翅膀对称安装在背甲的两端；两个胸腔夹住柔性铰链形成“三明治”结构，背甲固定在柔性铰链上面，背甲两端对称地位于胸腔的自由区域中；螺旋线圈固定安装在胸腔上的中心位置；永磁体固定在背甲的中心处。本发明通过MEMS工艺加工实现翼展小于3cm的扑翼式微飞行器，利用通电螺旋线圈与永磁体之间磁场的相互作用而获得驱动力，结构十分简单、控制方便灵活、输入电压小、输出力大、易于实现可携带操作。
-
公开(公告)号：CN102296027B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201110237159.1
申请日：2011-08-18
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种用于PCR扩增的可更换部件的功能模块，其中：以可更换的微流控玻璃片为主要反应区域，以外界泵入的恒温流体到液控恒温玻璃片为各温区热源，通过流体进出玻璃片与外界进行试剂交换，以中转的流体通道的结构侧柱为固定，中心有用于填充的中央固定块和隔热橡胶板，顶部有控制液流速度的流体控制管，可接到外部流体进出控制模块。本发明模块结构设计上方便对准和配合固定；能够形成一个循环次数可以更改，流体依次流经PCR反应恒温温区的螺旋形流路，以进行连续流式PCR反应，是一个PCR反应效率高，可应对情况多，方便拆卸与清洗，易于大规模生产集成，能够根据需要在不同情况下使用的功能模块。
-
公开(公告)号：CN102253238B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201110086293.6
申请日：2011-04-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 一种微机电系统技术领域的静电悬浮六轴微加速度计及其制造方法，该微加速度计为下定子、悬浮质量块和上定子的三明治式三层键合结构，上定子和下定子均采用玻璃作为衬底，悬浮质量块位于上定子和下定子之间的键合空腔中，悬浮质量块所处的位置为键合空腔的中心且不与上定子或下定子接触以实现沿XYZ轴平移或绕XYZ轴转动，悬浮质量块的中心即为惯性坐标系OXYZ的原点O，OZ方向垂直于上下定子所在的平面。本发明基于非硅MEMS工艺制造得到采用方形质量块具有六轴加速度测量功能的高灵敏度静电悬浮微加速度计，该方法简便灵活且制造成本低。
-
公开(公告)号：CN102561490A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210029053.7
申请日：2012-02-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: E03D5/10
Abstract: 本发明涉及一种节水的小便池冲洗控制系统及控制方法，其中控制系统包括红外传感模块、预处理模块、信号处理模块、数据存储模块、驱动模块、执行模块和供电模块，其中控制方法包括1)通过红外传感模块进行红外检测；2)预处理模块对接收到的信号进行处理；3)信号处理模块根据接收到的信号判断是否有人体靠近；4)系统根据累计使用时间T1来判断是否为首次工作，若为是，执行步骤5)，若为否，执行步骤6)；5)系统在确定人体离开后，按照冲水模式I冲水等步骤。与现有技术相比，本发明具有既在较大程度上做到了卫生方便，又大幅度地达到了节约用水，给政府和其他企事业单位节省了大量的财政开支等优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
161
records
(took 0.033 seconds)
