公开(公告)号：CN117784520A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311208593.6

申请日：2023-09-19

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤庆一 ,  石井亮 ,  香村和彦 ,  富田卓弥

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明的课题在于提供一种可抑制未曝光部分的白化、且可形成显影性及分辨率优异的抗蚀剂图案膜的感光性树脂组合物、可形成所述抗蚀剂图案膜的抗蚀剂图案膜的制造方法、及使用所述抗蚀剂图案膜的镀敷造形物的制造方法。一种感光性树脂组合物，含有：(A)碱可溶性树脂；(B1)在一分子中分别具有至少两个(甲基)丙烯酰基与羟基、且具有环结构的聚合性化合物；(C)光自由基聚合引发剂；(D)选自由包含两个以上的氮原子的含氮杂环化合物(d1)、硫醇化合物(d2)、及聚合抑制剂(d3)所组成的群组中的至少一种化合物；以及(F)溶剂。

公开(公告)号：CN112585535B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201980052361.1

申请日：2019-09-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木村优 ,  石川弘树 ,  松本朋之 ,  佐藤庆一

IPC: G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  G03F7/031 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种感光性树脂组合物，含有聚合性化合物(A)、光自由基聚合引发剂(B)、硫醇化合物(C)、以及聚合抑制剂(D)，且硫醇化合物(C)的含量相对于聚合性化合物(A)100质量份而为5质量份～50质量份，聚合抑制剂(D)的含量相对于聚合性化合物(A)100质量份而为1质量份～10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度(EL)宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成方法。可提供一种使用通过抗蚀剂图案的形成方法所形成的抗蚀剂图案能够制造精度佳、微细的镀覆造形物的镀覆造形物的制造方法。

公开(公告)号：CN112585535A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980052361.1

申请日：2019-09-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木村优 ,  石川弘树 ,  松本朋之 ,  佐藤庆一

IPC: G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  G03F7/031 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种感光性树脂组合物，其特征在于含有聚合性化合物(A)、光自由基聚合引发剂(B)、硫醇化合物(C)、以及聚合抑制剂(D)，且所述硫醇化合物(C)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为5质量份～50质量份，所述聚合抑制剂(D)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为1质量份～10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度(EL)宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用所述感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成方法。可提供一种使用通过所述抗蚀剂图案的形成方法所形成的抗蚀剂图案能够制造精度佳、微细的镀覆造形物的镀覆造形物的制造方法。