公开(公告)号：CN113412288B

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202080013648.6

申请日：2020-02-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野田寛人 ,  小川卓 ,  堀川修平 ,  香村和彦

IPC: C08F220/20 ,  C08F220/36 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H01L21/60

Abstract: 本发明为一种感光性树脂组合物，含有碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、光自由基聚合引发剂(C)及溶剂(D)，所述聚合性化合物(B)含有选自具有特定的记号R的下述式(1)所示的化合物及下述式(3)所示的化合物中的至少一种(B1)，所述感光性树脂组合物中所含的所述化合物(B1)的含有比例为15质量％～50质量％。本发明的感光性树脂组合物可形成灵敏度及分辨率优异的厚膜的抗蚀剂图案，通过使用所述厚膜的抗蚀剂图案，可实现镀覆造形物的微细化。本发明还提供一种抗蚀剂图案的形成方法以及镀覆造形物的制造方法。

公开(公告)号：CN113412288A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202080013648.6

申请日：2020-02-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野田寛人 ,  小川卓 ,  堀川修平 ,  香村和彦

IPC: C08F220/20 ,  C08F220/36 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H01L21/60

Abstract: 本发明为一种感光性树脂组合物，含有碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、光自由基聚合引发剂(C)及溶剂(D)，所述聚合性化合物(B)含有选自具有特定的记号R的下述式(1)所示的化合物及下述式(3)所示的化合物中的至少一种(B1)，所述感光性树脂组合物中所含的所述化合物(B1)的含有比例为15质量％～50质量％。本发明的感光性树脂组合物可形成灵敏度及分辨率优异的厚膜的抗蚀剂图案，通过使用所述厚膜的抗蚀剂图案，可实现镀覆造形物的微细化。

公开(公告)号：CN117784520A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311208593.6

申请日：2023-09-19

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤庆一 ,  石井亮 ,  香村和彦 ,  富田卓弥

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明的课题在于提供一种可抑制未曝光部分的白化、且可形成显影性及分辨率优异的抗蚀剂图案膜的感光性树脂组合物、可形成所述抗蚀剂图案膜的抗蚀剂图案膜的制造方法、及使用所述抗蚀剂图案膜的镀敷造形物的制造方法。一种感光性树脂组合物，含有：(A)碱可溶性树脂；(B1)在一分子中分别具有至少两个(甲基)丙烯酰基与羟基、且具有环结构的聚合性化合物；(C)光自由基聚合引发剂；(D)选自由包含两个以上的氮原子的含氮杂环化合物(d1)、硫醇化合物(d2)、及聚合抑制剂(d3)所组成的群组中的至少一种化合物；以及(F)溶剂。